[发明专利]刻划装置

权利要求书

1.一种刻划装置，用于在作为工件的脆性材料基板上形成多条刻划线，

所述刻划装置具备：

第1刻划单元，其用于在脆性材料基板上形成第1刻划线，且具有第1刻划头，该第1刻划头具有：第1夹具保持部件；以及第1夹具，该第1夹具的前端可安装刀具，被支撑为能够相对于所述第1夹具保持部件绕与工件表面垂直的轴旋转自如；以及

第2刻划单元，其用于在脆性材料基板上形成第2刻划线，且具有第2刻划头，该第2刻划头具有：第2夹具保持部件；以及第2夹具，该第2夹具的前端可安装刀具，其相对于所述第2夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。

2.根据权利要求1所述的刻划装置，其中，

所述刻划装置在所述第1刻划单元与所述第2刻划单元之间还具备用于变更脆性材料基板的姿势的姿势变更单元。

3.根据权利要求1或2所述的刻划装置，其中，

所述第1刻划单元还具有第3刻划头，该第3刻划头隔着欲被加工的脆性材料基板与所述第1刻划头相向配置，

所述第3刻划头在脆性材料基板上形成第3刻划线，其具有：第3夹具保持部件；以及第3夹具，该第3夹具的前端可安装刀具，相对于所述第3夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的刻划装置，其中，

所述第2刻划单元还具有第4刻划头，该第4刻划头隔着欲被加工的脆性材料基板与所述第2刻划头相向配置，

所述第4刻划头在脆性材料基板上形成第4刻划线，其具有：第4夹具保持部件；以及第4夹具，该第4夹具的前端可安装刀具，相对于所述第4夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。