[发明专利]一种超低频主动隔振装置及其控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及隔振装置，是用于主动隔振平台中抑制机械装置运动时产生的振动，特别涉及一种超低频主动隔振装置。

技术背景

随着超精密加工与测量、微纳米技术的不断提高，外部环境干扰振动和设备自身产生的振动都严重影响着精密设备的技术精度和使用寿命。为此需要提供与之相配套的各种隔振装置来保证精密设备的正常使用，同时对有关隔振装置的隔振性能——特别是超低频领域提出了更高的要求。弹簧作为常用的弹性元件，广泛用于各种振动设备的减震部件，其具有稳定性好，噪音低，隔振效果明显，使用寿命长等特点。然而目前的弹簧隔振在低频隔振方面性能还不理想，导致很大的程度上限制了其在超低频领域的进一步应用。目前，在低频隔振方面有二种解决方法。

美国专利US6,402,118，B1“Magnetic Support System” （磁性支持系统）提出了一种磁支撑系统。该系统利用具有正负刚度的两种永磁铁布置在平台的两侧，使正负刚度相互抵消而实现超低频隔振。但是它的缺点在于调节精度差，不具有可编程性。另外它要求两个永磁铁正负刚度抵消，这对制造精度提出了苛刻的要求，难以实现，而且整个系统很难适应不同工作条件和负载变化的影响。

公开号为CN 1529407 A的中国专利 ，名称为“主动隔振平台用双永磁体并联型非接触式电磁作动器”, 它是一种主动隔振平台用双永磁体并联型非接触式电磁作动器，它主要由上部的电磁铁组件、下部永磁体组件及导磁构基础构件组成。它的缺点电磁铁的控制精度差，磁路容易受位置的摆动而发生改变，从而使电磁力发展改变。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超低频主动隔振装置，利用霍尔高度传感器反馈台面和基面底板的距离，随着负载的变化，实时通过高度调节器调节台面和基面底板距离，始终保持台面和基面底板的距离相对固定，利用加速度传感器反馈外部振动干扰力的大小，控制音圈电机提供一个相位相反，大小相近的力，从而抵消掉外部的振动干扰。

为实现上述目的，本发明的技术方案是，一种超低频主动隔振装置，台面固定于角条与横梁连接成的框架上，角条与基面底板间安装有高度调节器，且基面底板安装有支撑块，支撑块固定有霍尔高度传感器，角条与霍尔高度传感器对应位置安装有磁块，基面底板上还安装有音圈电机，音圈电机的上端连接加速度传感器的一端，加速度传感器的另一端固定于横梁，横梁固定有限位棒；电源、加速度传感器、霍尔高度传感器的输出端分别连接模/数转换器输入端，模/数转换器和人机交互界面的输出端均连接控制器输入端，控制器输出端分别连接控制模块和驱动模块的输入端，控制模块输出端连接音圈电机输入端，驱动模块输出端连接高度调节器输入端。

一种超低频主动隔振装置的控制方法：

1）电源为模/数装换器提供基准电源，为音圈电机提供驱动电源，为控制模块和控制器提供电源； 

2）加速度传感器安装在台面的底面，感应台面的加速度大小；

3）霍尔传感器安装在台面与基面底板之间,测量台面相对于基面底板的高度；           

4）模/数装换器把霍尔传感器和加速度传感器的模拟量转换成数字量，其模拟前端接收霍尔传感器和加速度传感器放大后的信号，并将数字化后的信号发送到控制器；

5）控制器处理模/数转换器的数据后，将调整后的数据输送到驱动模块和控制模块，控制器同时也对人机交互界面的信息进行处理；

6）人机交互界面进行按键采集和数据显示的处理，并与控制器连接；

7）控制模块是音圈电机功率驱动模块，受控制器控制，调节驱动的电流的大小和电流的方向；

8) 驱动模块驱动高度调节器的运动，受控制器控制；

9）高度调节器位于基面底板与台面之间，并根据霍尔传感器感应的高度进行台面相对于基面底板的距离调节；

10）音圈电机位于基面底板与台面之间，由控制模块控制，补偿外界的振动干扰。

本发明的优点是：（1）利用高度调节器很好高频隔振性能和很好的承载性能，对隔振装置系统起到粗调的作用。同时，高度调节器又采用了调节弹簧的压缩量，可以保证音圈电机受到的力在一个最小的状态，这样有利于音圈电机发挥最大的作用。（2）音圈电机在低频和超低频有良好的隔振系能，尤其对一些微小的振动，音圈电机有很好的分辨率。（3）由于采用了特殊结构的音圈电机，随着反馈深度的调节，改变了系统的刚度，降低系统的固有频率。通过将高度调节器与音圈电机的结合起来，较好地拓宽了隔振装置的有效频带范围。

附图说明

图1 是本发明的原理示意图。