[发明专利]批量式处理装置

权利要求书

1.一种批量式处理装置，该批量式处理装置对多个被处理体同时实施处理，其特征在于，

所述批量式处理装置具备：

主室；

在所述主室内沿该主室的高度方向层叠设置，并载置所述被处理体的多个工作台；以及

针对每个所述工作台分别设置一个，并遮盖载置于所述工作台的所述被处理体的多个罩，

利用所述多个工作台与所述多个罩，以包围载置于所述多个工作台的所述多个被处理体中的各被处理体的方式，形成容量小于所述主室的容量的处理用小空间。

2.根据权利要求1所述的批量式处理装置，其特征在于，所述批量式处理装置还具备：

驱动所述多个罩或者所述多个工作台升降的驱动机构；

使所述被处理体在所述多个工作台各自的被处理体载置面与该被处理体载置面的上方之间升降的被处理体升降机构；

向所述多个处理用小空间各自的内部供给气体的气体供给机构；以及

对所述多个处理用小空间各自的内部进行排气的排气机构。

3.根据权利要求1或2所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述工作台的载置所述被处理体的面平坦，在所述罩的与所述工作台对置的面设有形成所述处理用小空间的凹部。

4.根据权利要求1或2所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述罩的与所述工作台对置的面平坦，在所述工作台的载置所述被处理体的面设有形成所述处理用小空间的凹部。

5.根据权利要求1或2所述的批量式处理装置，其特征在于，

在所述工作台的载置所述被处理体的面以及所述罩的与所述工作台对置的面分别设有形成所述处理用小空间的凹部。

6.根据权利要求2所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述驱动机构驱动所述多个罩或者所述多个工作台一起升降。

7.根据权利要求2或6所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述多个工作台固定于所述主室，

所述驱动机构驱动所述多个罩升降。

8.根据权利要求2或6所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述多个罩固定于所述主室，

所述驱动机构驱动所述多个工作台升降。

9.根据权利要求2所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述被处理体升降机构使所述多个被处理体一起升降。

10.根据权利要求2或9所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述被处理体升降机构相对于所述驱动机构独立。

11.根据权利要求2或9所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述被处理体升降机构与所述驱动机构联动。

12.根据权利要求11所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述被处理体升降机构具有贯通所述工作台而悬架于所述工作台的销状升降器，

所述销状升降器的下端与位于下方的所述罩的上表面抵接，所述销状升降器与所述罩的升降对应地升降。

13.根据权利要求7所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述气体供给机构以及所述排气机构设于所述工作台。

14.根据权利要求8所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述气体供给机构以及所述排气机构设于所述罩。

15.根据权利要求2所述的批量式处理装置，其特征在于，

当形成所述处理用小空间的凹部设于所述罩时，

所述气体供给机构的气体喷出孔以及所述排气机构的排气孔设于所述工作台的被处理体载置面。

16.根据权利要求2所述的批量式处理装置，其特征在于，

当形成所述处理用小空间的凹部设于所述工作台时，

所述气体供给机构的气体喷出孔以及所述排气机构的排气孔设于所述凹部的侧面。

17.根据权利要求1所述的批量式处理装置，其特征在于，

所述批量式处理装置还具备对所述主室进行排气的主室排气机构，

在所述工作台的上表面与所述罩的下端之间，设定有使所述处理用小空间与所述主室内部连通的间隙，

使用所述主室排气机构经由所述间隙对所述处理用小空间进行排气。