[发明专利]用于试样的图像显示方法及其光学显微设备有效
申请号: | 201210212564.2 | 申请日: | 2012-06-21 |
公开(公告)号: | CN102841079B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | J·弗林格 | 申请(专利权)人: | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64;G02B21/36 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司11280 | 代理人: | 王勇,王博 |
地址: | 德国韦*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 试样 图像 显示 方法 及其 光学 显微 设备 | ||
1.一种应用光学显微设备(100)以用于试样(16)图像显示的方法,所述光学显微设备包括成像光学系统(40)和图像传感器(28),所述方法包括下列步骤:
通过借助于成像光学系统(40)对试样(16)的连续成像,在图像传感器(28)上摄取单一图像的序列,
其中对每个单一图像的摄取均为试样(16)提供标记物结构,在所述标记物结构中,各标记物可借助于成像光学系统(40)以空间上可相互分开的光分布(82)形式在图像传感器(28)上成像,
确定该光分布(82)的重心位置(84、86、88),所述重心位置在各单一图像中显示所成像的标记物,和
将确定的重心位置(84、86、88)重叠成试样(16)的全图,
其特征在于,
在摄取单一图像序列期间测量引起图像偏移的温度数值(△T1、△T2、…,△Tn),
按预定的分配数据(400)将温度相关的偏移数值(△X1、△X2、…,△Xn;△Y1、△Y2、…,△Yn)分配给引起图像偏移的温度数值(△T1、△T2、…,△Tn),并且
按偏移数值(△X1、△X2、…,△Xn;△Y1、△Y2、…,△Yn)校正所确定的重心位置(84、86、88)。
2.根据权利要求1的方法,其特征在于,由实验确定所述分配数据(400),并存储在光学显微设备(100)中。
3.根据权利要求2的方法,其特征在于,
提供具有至少一个参比标记物的参比结构,用于确定分配数据(400),
将引起图像偏移的温度数值设置为多个参比温度值,
为每个参比温度值摄取该参比结构的参比单一图像,其中,借助于成像光学系统以参比光分布形式使该参比结构的参比标记物在图像传感器上成像,
为每个参比温度值确定其所属的参比光分布的参比重心位置,
由参比重心位置依赖于参比温度值的变比来确定与温度相关的偏移数值。
4.根据上述权利要求中任意一项的方法,其特征在于,测量该光学显微设备(100)的至少一个构件(12、14、42)的温度作为引起图像偏移的温度数值(△T1、△T2、…、△Tn)。
5.根据权利要求4的方法,其特征在于,对在载物台(14)内部或其表面上的温度,和/或在为成像光学透镜(40)提供的固定件设备(42)内部或其表面上的温度,和/或在其上放置载物台(14)的支架(12)内部或其表面上的温度进行测量。
6.根据上述权利要求中任一项的方法,其特征在于,将该测得的温度数值(△T1、△T2、…,△Tn)转换成惰性补偿值,并按转换过的温度数值确定偏移数值(△X1、△X2、…,△Xn;△Y1、△Y2、…,△Yn)。
7.根据权利要求6的方法,其特征在于,依据变化速率对所述惰性补偿值进行调整,该测得的温度数值(△T1、△T2、…,△Tn)以所述变化速率随时间发生变化。
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