[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，具备：

基板保持件，该基板保持件以将多个基板隔开间隔而重叠的方式对所述多个基板进行保持；

反应管，该反应管用于容纳所述基板保持件；

原料气体供给管，该原料气体供给管对被所述基板保持件保持的所述多个基板供给要成膜于所述多个基板上的薄膜的原料气体，所述基板保持件容纳于所述反应管；

支承部，该支承部用于支承所述反应管；

加热部，该加热部配置在所述反应管的外侧，对所述多个基板进行加热；

保护管，该保护管在一端部固定于所述支承部，在所述基板保持件与所述反应管之间沿着所述多个基板的排列方向延伸，内部供温度测量部插入；

突起部，该突起部设置在所述保护管的外表面与所述反应管的内表面的至少一方，在所述保护管的外表面与所述反应管的内表面之间形成空隙。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述突起部在所述保护管的另一端部且设置于所述保护管的外表面，其中所述保护管的另一端部是指与固定于所述支承部的所述一端部相反侧的端部。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述反应管具有沿着所述保护管凹下的槽部，

所述突起部阻碍所述保护管的外表面与所述反应管的所述槽部的内表面接触。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

相对于所述突起部隔开规定的间隔而设置有增加的突起部。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述突起部与所述增加的突起部在水平方向相互隔开规定的间隔而设置在所述保护管的另一端部，其中所述保护管的另一端部是指与固定于所述支承部的所述一端部相反侧的端部。

6.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

还具备外管，该外管能够容纳所述反应管且被所述支承部支承。