[发明专利]紫外线照射装置

权利要求书

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，具备：

紫外线灯，其向工件照射紫外线；

壳体，其收容所述紫外线灯且具有与所述工件对置开口的开口部；

气体供给机构，其向所述壳体内供给气体，

在所述壳体的内表面或内部空间设有循环引导面，该循环引导面用于使由所述气体供给机构供给的气体在所述紫外线灯的周围单向循环。

2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

沿着所述气体供给机构的气体供给方向的假想线与如下交点处的切线所成的角度为锐角，该交点是所述假想线和所述壳体的内表面或所述循环引导面的交点。

3.根据权利要求1或2所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述气体供给机构向与形成于所述壳体内的气体的循环方向相同的方向供给所述气体。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述循环引导面的与所述壳体的长度方向垂直的剖面为大体部分圆形状、大体部分长圆形状、大体部分椭圆形状、角部呈圆弧状的大体部分矩形状中的一种形状。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述紫外线灯成为长圆筒形状，

所述壳体成为收容所述紫外线灯的长筒形状，并且具有沿着所述紫外线灯的长度方向的开口部。

6.根据权利要求5所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述气体供给机构在所述壳体的大致整个长度方向上朝向所述壳体内供给气体。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述气体供给机构具有：第一供给部，其在所述壳体的上部朝向与形成于所述壳体内的气体的循环方向相同的方向供给气体；第二供给部，其在所述壳体的开口部朝向与由所述第一供给部供给的气体的循环方向相同的方向供给气体。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

由所述气体供给机构供给的气体的循环方向为沿着所述工件的输送方向的方向。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述壳体的开口部以不遮挡所述紫外线灯的紫外线照射范围的方式形成，所述紫外线照射装置具有罩部，该罩部从所述开口部向所述工件侧延伸设置且以不遮挡所述紫外线灯的紫外线照射范围的方式覆盖所述工件。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述气体为惰性气体或工艺过程气体。