[发明专利]紫外线照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种紫外线照射装置。

背景技术

以往，为了使基板等工件表面清洁化，使用对工件的表面照射紫外线而使表面上的有机物氧化分解的紫外线照射装置。

其中，从紫外线灯射出的例如波长172nm的紫外线被气氛中的氧分子吸收。具体而言，波长172nm的紫外线在大气中仅行进2mm即衰减为30％～40％程度。因此，如专利文献1或专利文献2等所示，在收容紫外线灯的壳体(灯室)内充满例如氮(N₂)气等惰性气体，且在紫外线灯与工件之间充满惰性气体。通过如此将紫外线灯的周围气氛由惰性气体充满，从而通过防止从紫外线灯射出的紫外线发生衰减，提高向工件照射的紫外线的照射效率，从而实现工件清洗效率的提高。

然而，如上述专利文献1和专利文献2所示，由于从成为大致长方体形状的壳体的上表面朝向下方供给惰性气体、或从灯室的侧面朝向横向供给惰性气体，因此，存在灯室内的惰性气体置换耗费时间的问题。另外，不仅滞留在灯室内的角部的气体不易置换，而且在紫外线灯的惰性气体导入口相反侧的空间也不易实现气体置换，造成存在直至置换结束为止所使用的惰性气体的供给量增加的问题。

另外，为了使壳体内成为惰性气体气氛，需要将设于壳体的紫外线照射侧的开口部用光透过窗密封，为了使光透过窗与工件之间的空间成为惰性气体气氛，需要设置第二气体供给机构，或者设置在光透过窗与壳体之间设置间隙而将壳体内的气体向工件侧导入的机构，然而这样存在部件件数变多的问题。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2009-268974号公报

【专利文献2】日本特开2010-125368号公报

发明内容

因此，本发明为了一举解决上述问题点而完成，其主要课题在于，通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置换时间且降低该置换的气体使用量。

即，本发明的紫外线照射装置的特征在于，具备：紫外线灯，其向工件照射紫外线；壳体，其收容所述紫外线灯且具有与所述工件对置开口的开口部；气体供给机构，其向所述壳体内供给气体且在所述壳体的内表面或内部空间设有循环引导面，该循环引导面用于使由所述气体供给机构供给的气体在所述紫外线灯的周围单向循环。

根据这种紫外线照射装置，由于由气体供给机构供给的气体沿设于壳体的内表面或内部空间的循环引导面在紫外线灯的周围单向循环，因此，能够提高壳体内的气体的置换效率。由此，能够缩短壳体内气体的置换时间且能够降低气体的使用量。由于能够降低气体的使用量，因此能够削减紫外线照射装置的运转费中占三分之一至二分之一的气体成本。

另外，本发明的紫外线照射装置通过使气体在紫外线灯的周围循环，从而能够提高紫外线灯与工件之间的空间(紫外线灯的紫外线照射侧的空间)的气体的置换效率。由此，能够增大紫外线灯与工件的距离，能够尽可能地增大一个紫外线灯的工件照射范围。

进而，本发明的紫外线照射装置通过使气体在紫外线灯的周围循环，从而能够防止白粉附着在紫外线灯上。需要说明的是，该白粉以如下方式生成，即，在有机溶剂、酸、碱等各种药品在紫外线灯的气氛中气化雾化而浮游的情况下，受到紫外线照射而生成硫酸铵等反应生成物，除附着于紫外线灯上而生成之外，还存在从照射中的工件产生的飞散物与灯接触而再结晶化生成的情况。因该白粉的存在，使得紫外线的透过受到阻碍而使紫外线强度降低，另外，白粉从紫外线灯剥落而产生污染工件的问题。

优选沿着所述气体供给机构的气体供给方向的假想线与该假想线和所述壳体的内表面或所述循环引导面的交点处的切线所成的角度为锐角。由此可知，由气体供给机构供给的气体与壳体的内表面或循环引导面碰触后，沿该内表面或循环引导面流动，从而可容易地沿着紫外线灯的周围单向循环。从而，能够提高壳体内的气体的置换效率、气体的置换时间的缩短效果以及气体的使用量的降低效果。

优选所述气体供给机构向与形成于所述壳体内的气体的循环方向相同的方向供给所述气体。如此一来，由气体供给机构供给的气体更容易沿循环引导面在紫外线灯的周围单向循环，能够进一步提高壳体内的气体的置换效率、气体的置换时间的缩短效果以及气体的使用量的降低效果。