[发明专利]新型的分形图案接地屏蔽结构

权利要求书

1.新型的分形图案接地屏蔽结构，应用于射频集成电路，其特征在于：该分形图案接地屏蔽结构位于线圈绕成的电感或变压器的中心部分，采用底层的薄金属层，利用分形理论在基本图形单元的基础上，构造一阶、二阶、三阶、甚至更高阶的图案接地屏蔽层。

2.如权利要求1所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：所述的基本图形单元共有两种：分别是Ｈ形和十字形，这两种形状都是由相互垂直的和平行的金属条合并为一体构成。

3.如权利要求2所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：当基本图形单元为H形时，首先在金属层M1选定一个中心点，构造H图形最中间的长为L、宽为W的横向金属条，起始点为-L/2、-W/2，终点为L/2、W/2，确保L、W变化时，图形始终位于中心；其次构造垂直于中间金属条的两侧的竖直的长L的两个金属条；然后构造垂直于两条竖直金属条的长为L/2的四个金属条；令所有金属条宽度W相等，最后把所有的金属条合并为一体，由此一阶图案屏蔽结构完成，接地部分由两侧的竖直金属条的中间部分引出连接到地，利用金属层M2制造一个相同的H形的一阶悬浮屏蔽结构，但和金属层M1相互绝缘；H形的基本单元的金属条的长度L取值范围为10μm～70μm，宽度W取值范围为0.12μm～2μm。

4.如权利要求3所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：构造二阶图案接地屏蔽层是在一阶图案接地屏蔽层的基础上，叠加四个主长度为L/2、次长度为L/4、宽度W不变的Ｈ图形(13a)；构造三阶图案接地屏蔽层是在二阶图案接地屏蔽层的基础上，叠加十六个主长度为L/4、次长度为L/8、宽度W不变的Ｈ图形(13b)。

5.如权利要求4所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：叠加的Ｈ图形中的金属条宽度W是可变的。

6.如权利要求2所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：当基本图形单元为十字形时，首先在金属层M1上选定一个中心点，构造两个相互垂直的长L1、宽W1的金属条，起始点为-L1/2、-W1/2，终点为L1/2、W1/2，确保L1、W1变化时，图形始终位于中心；然后把两个金属条合并为一体，一阶的十字形接地屏蔽基本单元完成，接地部分由十字形的四个顶点部分引出连接到地，利用金属层M2制造一个相同的十字形的一阶悬浮屏蔽结构，但和金属层M1相互绝缘；十字形的基本单元的金属条的长度L1取值范围为40μm～120μm，宽度W1取值范围为0.12μm～4μm。

7.如权利要求6所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：构造二阶图案接地屏蔽层是在一阶图案接地屏蔽层的基础上，在L/4处叠加四个长度为L/2减去一个间距a，宽度为W/2的垂直金属条(14a)；构造三阶图案接地屏蔽层是在二阶图案接地屏蔽层的基础上，在L/8处和3*L/8处叠加八个长度为L/4减去3/2倍的间距a，宽度为W/4的垂直金属条13a，在13a上L/8处叠加八个长度为L/4减去3/2倍的间距a，宽度为W/4的垂直金属条(14b)。

8.如权利要求7所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：叠加的金属条宽度W1是可不变的。

9.如权利要求3或权利要求6所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：金属层M1的屏蔽结构和M2的屏蔽结构是可以彼此错开的。

10.如权利要求2所述的新型的分形图案接地屏蔽结构，其特征在于：可把H形和十字形相结合，一层为Ｈ形屏蔽结构，一层为十字形屏蔽结构，彼此是绝缘的，下层的屏蔽结构作为接地层，同时上下层的屏蔽结构是可以错开的。