[发明专利]单晶硅棒粘接机无效
申请号: | 201210231345.9 | 申请日: | 2012-07-05 |
公开(公告)号: | CN102732968A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 丁国发 | 申请(专利权)人: | 江苏奥凯自动化设备技术有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 陈君伟 |
地址: | 225654 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 接机 | ||
1.单晶硅棒粘接机,其特征在于:主要包括粘接机底座、横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨、晶座装卸固定立座、硅棒校准横移尾座、第一晶棒夹持装置、第二晶棒夹持装置、电加热装置和冷却风机;粘接机底座水平布置,横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨依次横向固定在粘接机底座上;晶座装卸固定立座固定连接在粘接机底座的左侧,晶座装卸固定立座的上部中心设有T型螺栓导向孔,T型螺栓导向孔内穿置有晶座固定用T型螺栓;所述第一晶棒夹持装置置于晶座装卸固定立座右侧,第一晶棒夹持装置主要包括硅棒夹持装置底座、硅棒夹持装置立板、左夹具、右夹具、丝杆、丝杆螺母、左、右夹具前后横移直线导轨和左、右夹具前后横移直线导轨滑块;第一晶棒夹持装置的底部固定连接有第一晶棒夹持装置滑块,通过底部的第一晶棒夹持装置滑块将第一晶棒夹持装置布置在横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,布置在横移锁紧杆上的第一晶棒夹持装置滑块的外侧设有硅晶棒夹持装置锁紧螺母,用于限定第一晶棒夹持装置的位置;硅棒夹持装置立板垂直固定在硅棒夹持装置底座上,硅棒夹持装置立板的右侧下部固定连接有纵向布置的左、右夹具前后横移直线导轨,左右夹、具前后横移直线导轨的左右两侧分别设有前后横移直线导轨滑块,左侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接左夹具,右侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接右夹具;在夹持装置前后横移直线导轨上方的硅棒夹持装置立板上固定连接有纵向布置的丝杆,丝杆两侧的螺纹相反,丝杆的外端固定连接有手柄,丝杆两侧分别设有丝杆螺母,左侧的丝杆螺母和左夹具固定连接,右侧的丝杆螺母和右夹具固定连接;第二晶棒夹持装置布置在第一夹持装置的右侧,第二晶棒夹持装置和第一晶棒夹持装置相对布置,并且结构与第一晶棒夹持装置相同;所述硅棒校准横移尾座布置在第二晶棒夹持装置的右侧,硅棒校准横移尾座的下端设有硅棒校准横移尾座滑块,通过硅棒校准横移尾座滑块将硅棒校准横移尾座布置在第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,硅棒校准横移尾座的上部中心设有校准座螺栓导向孔,校准座螺栓导向孔内穿置有校准座固定用T型螺栓;所述冷却风机和电加热装置通过底部滑块置于加热冷却横移导轨上,所述电加热装置包括支架和电加热板,加热板铰连接于支架上。
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