[发明专利]单晶硅棒粘接机无效
申请号: | 201210231345.9 | 申请日: | 2012-07-05 |
公开(公告)号: | CN102732968A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 丁国发 | 申请(专利权)人: | 江苏奥凯自动化设备技术有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 陈君伟 |
地址: | 225654 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 接机 | ||
技术领域
本发明涉及一种机械设备,具体为一种单晶硅棒粘接机。
背景技术
单晶硅棒粘接机主要用于单晶硅棒的粘接,是硅棒进行线开放作业前最严格的工序,对其精度的要求极高。现有单晶硅棒粘接机的精度不高、运行不平稳,产品合格率较低。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单、操作方便、可快速找准圆心并定位的单晶棒粘接机。
实现上述目的的技术方案是:单晶硅棒粘接机,其特征在于:主要包括粘接机底座、横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨、晶座装卸固定立座、硅棒校准横移尾座、第一晶棒夹持装置、第二晶棒夹持装置、电加热装置和冷却风机;粘接机底座水平布置,横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨依次横向固定在粘接机底座上;晶座装卸固定立座固定连接在粘接机底座的左侧,晶座装卸固定立座的上部中心设有T型螺栓导向孔,T型螺栓导向孔内穿置有晶座固定用T型螺栓;所述第一晶棒夹持装置置于晶座装卸固定立座右侧,第一晶棒夹持装置主要包括硅棒夹持装置底座、硅棒夹持装置立板、左夹具、右夹具、丝杆、丝杆螺母、左、右夹具前后横移直线导轨和左、右夹具前后横移直线导轨滑块;第一晶棒夹持装置的底部固定连接有第一夹持装置滑块,通过底部的第一夹持装置滑块将第一夹持装置布置在横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,布置在固定杆上的第一夹持装置滑块的外侧设有硅晶棒夹持装置锁紧螺母,用于限定第一晶棒夹持装置的位置;硅棒夹持装置立板垂直固定在硅棒夹持装置底座上,硅棒夹持装置立板的右侧下部固定连接有纵向布置的左、右夹具前后横移直线导轨,左右夹、具前后横移直线导轨的左右两侧分别设有前后横移直线导轨滑块,左侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接左夹具,右侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接右夹具;在夹持装置前后横移直线导轨上方的硅棒夹持装置立板上固定连接有纵向布置的丝杆,丝杆两侧的螺纹相反,丝杆的外端固定连接有手柄,丝杆两侧分别设有丝杆螺母,左侧的丝杆螺母和左夹具固定连接,右侧的丝杆螺母和右夹具固定连接;第二晶棒夹持装置布置在第一夹持装置的右侧,第二晶棒夹持装置和第一晶棒夹持装置相对布置,并且结构与第一晶棒夹持装置相同;所述硅棒校准横移尾座布置在第二晶棒夹持装置的右侧,活动委座的下端设有活动委座滑块,通过活动委座滑块将活动委座布置在第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,活动硅棒校准横移尾座的上部中心设有校准座螺栓导向孔,校准座螺栓导向孔内容穿置有校准座固定用T型螺栓;所述风机底端固定连接有风机滑块,风机通过风机滑块布置在加热冷却横移导轨上,所述电加热装置包括支架和加热板,加热板铰连接于支架上,支架底端设有支架滑块,加热装置通过支架滑块布置在加热冷却横移导轨上。
本发明结构简单、操作方便,可快速找准圆心,确保晶座和单晶硅圆棒同心度一致;同时在底座上安装有风机,通过分机对晶座和单晶硅圆棒的胶接端进行冷却,缩短了胶接后的冷却时间。
附图说明
图1为本发明的立体图;
图2为本发明的主视图。
具体实施方式
如图1、2所示,单晶硅棒粘接机,主要包括粘接机底座1、横移锁紧杆2、第一左右横移直线导轨4、第二左右横移直线导轨3、加热冷却横移导轨5、晶座装卸固定立座6、硅棒校准横移尾座7、第一晶棒夹持装置8、第二晶棒夹持装置9、电加热装置10和冷却风机11;粘接机底座水平布置1,横移锁紧杆2、第一左右横移直线导轨4、第二左右横移直线导轨3、加热冷却横移导轨5依次横向固定在粘接机底座1上;
晶座装卸固定立座6固定连接在粘接机底座1的左侧,晶座装卸固定立座6的上部中心设有T型螺栓导向孔36,T型螺栓导向孔36内穿置有晶座固定用T型螺栓13;
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