[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

真空腔室；

蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部；

蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动；

导向臂，其一端部引出到上述真空腔室外部，另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导向臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行轴转动作的同时向长度方向滑动；以及

滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和导向臂，用于引导上述导向臂的滑动。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，上述滑动引导部包括：

外部管，其一端部与上述真空腔室结合，另一端部位于上述真空腔室的内部，该外部管通过使上述导向臂的一部分贯通的方式来引导上述导向臂的滑动；

第一密封部件，其用于密封上述外部管和真空腔室之间的结合部位；以及

伸缩部件，其在上述真空腔室内密封上述外部管和导向臂之间，并根据上述导向臂的滑动方向进行伸缩动作。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，上述第一密封部件及伸缩部件分别为真空波纹管。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，包括导向机构，该导向机构用于在上述导向臂的一端部随着上述蒸镀源的线性移动而进行动作时引导上述导向臂的一端部的动作。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向机构为电缆卷筒。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂具有被第二密封部件密封的至少一个关节。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，上述第二密封部件为真空波纹管。

8.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂形成为上述关节向与基板隔开或邻接的方向弯曲或展开。

9.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂利用上述关节向上述蒸镀源的线性移动的方向弯曲或展开。

10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件，该旋转部件能够使上述导向臂和蒸镀源以沿着上述导向臂的长度方向的轴为中心进行相对旋转。

11.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂由以能够分离成至少两个部分的方式结合的结构构成。

12.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂的内部具有与上述真空腔室的外部状态相同的状态。