[发明专利]蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸镀装置，更详细地涉及一种在真空腔室内使蒸镀源相对于基板进行线性移动，并在基板的表面蒸镀蒸镀物质的蒸镀装置(Deposition apparatus)。

背景技术

作为平板显示器件(Flat Panel Display)，具有代表意义的包括以下几种，液晶显示器件(Liquid Crystal Display)、等离子显示器件(Plasma Display Panel)及有机发光显示器件(Organic Light Emitting Diodes)等。其中，有机发光显示器件具有迅速的回应速度、低于以往液晶显示器件的耗电量、高亮度以及轻量性等的特性，由于因不需要单独的背光灯(背光照明)装置而具有能够制造成超薄型等的优点，因而，受人瞩目为下一代的显示器件。

另一方面，在平板显示器件的基板形成薄膜的一般的方法可以指出像真空蒸镀法(Evaporation)、离子电镀法(Ion-plation)及溅射(Sputtering)一样的物理气相沉积法(PVD)和基于气体反应的化学气相沉积法(CVD)等。其中，真空蒸镀法可以在像有机发光显示器件的有机物层、无机物层等一样的薄膜形成中使用。

真空蒸镀法是指在真空腔室内使被蒸镀源收纳的有机物或者无机物蒸发或升华之后蒸镀在基板的表面的方法。这种真空蒸镀法中，蒸镀源可以从真空腔室的外部接收电、控制信号、冷却气体等，以便控制蒸镀工序。蒸镀源通过配线、配管等的动力管线与真空腔室的外部的供给单元连接。但是，由于真空腔室的内部在工序中维持真空状态，因而，如果将动力管线露出于真空，则存在使动力管线迅速陈旧化或者线路中断的问题。

并且，近来的趁势为平板显示器件渐渐成大面积化。由此，在平板显示器件制造中所使用的基板也渐渐成大面积化。对于这种向大面积基板蒸镀蒸镀物质的方式来说，可以使用在真空腔室内使蒸镀源相对于基板线性移动的同时在基板的表面蒸镀蒸镀物质的方式。在这种情况下，为了在蒸镀源的线性移动时使蒸镀源顺畅地移动，应在动力管线也真空腔室内进行移动。

因此，为了防止动力管线的陈旧化或者线路中断现象，而具有以在真空腔室内向动力管线提供与真空腔室的外部的大气压状态相同的状态的同时可移动的方式进行配线处理的必要。

发明内容

本发明的课题在于提供一种能够使蒸镀源顺畅地线性移动的同时防止动力管线(或设备管线：Utility Line)的陈旧化或线路中断等现象，并能够在蒸镀源的线性移动时在导向臂内使动力管线的动作最小化，从而能够防止动力管线的缠绞现象的蒸镀装置。

用于达成上述课题的本发明的蒸镀装置，包括：真空腔室；蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部；蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动；导向臂，其导向臂的一端部引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，并通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导线臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行转动动作的同时向长度方向滑动；以及滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和上述导向臂上，用于引导导向臂的滑动。

根据本发明，因动力管线不向真空腔室的真空状态露出并收容在臂部的内部，而能够处于与真空腔室的外部的状态相同的状态，从而能够防止动力管线的陈旧化或者线路中断等现象，并能够使蒸镀源利用臂部而顺畅地线性移动。

根据本发明，因导向臂的内部具有直线型的空间而能够容易设置动力管线。并且，因能够使被导向臂收容的动力管线的动作最小化而能够在导向臂的轴转动作时防止动力管线的缠绞现象。

附图说明

图1是表示根据本发明一实施例的蒸镀装置的结构图。

图2是表示图1中，蒸镀源的线性移动状态的侧视图。

图3是表示图1中，在导向臂设置有长度可变部的例的附图。

图4是表示图1中，在导向臂设置有关节的例的附图。

图5是表示图4中，蒸镀源向基板侧移动的状态的附图。

图6是表示图4中，在导向臂设置有旋转部件的例的附图。

图7是表示图1中，导向臂以可分离成两个部分的方式结合的结构的剖视图。

(附图标记说明)

110：真空腔室            120：蒸镀源

130：蒸镀源驱动部        140：导向臂

142、143：关节           146：旋转部件