[发明专利]波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；

第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；

接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；以及

槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面，

其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述槽部被形成多个。

3.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述槽部从所述第一反射膜或所述第二反射膜的中心以等角度、放射状地形成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述第二基板，形成有：可动部，设有所述第二反射膜，并且使所述第一反射膜与所述第二反射膜的间隙尺寸可变；以及连结保持部，与所述可动部连结，其厚度形成为比所述可动部的厚度薄，

在与所述第二基板相对的所述第一基板，形成有所述槽部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述槽部形成有多个具有接合所述第一基板与所述第二基板的接合面的柱状部。

6.一种滤光器模块，其特征在于，包括：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；

第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；

接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；

槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面；以及

受光部，接收透过了所述第一反射膜或所述第二反射膜的光。

7.一种光分析装置，其特征在于，包括：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；

第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；

接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；

槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面；

受光部，接收透过了所述第一反射膜或所述第二反射膜的光；

以及

分析处理部，根据由所述受光部得到的信号来分析所述光的光特性。

8.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；

第一接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，在从所述第一基板和所述第二基板的厚度方向俯视时，被配置在所述第一反射膜和所述第二反射膜的外侧，用于接合所述第一基板与所述第二基板；

第二接合部，设置于所述第二基板，并与第一接合部接合；以及

槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面，

其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。