[发明专利]波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。

背景技术

已知一种从具有多个波长的光中取出指定波长的光的波长可变干涉滤波器。

例如，在专利文献1中公开有一种波长可变干涉滤波器(以下也称为标准具)，具有：固定镜以及在该固定镜上具有可变间隙地配置的可动镜，并选择性地使与间隙对应的指定波长的光透过。

在先技术文献

专利文献

日本专利文献1：特开2003-14641号公报

发明内容

在专利文献1那样结构的波长可变干涉滤波器中，在使固定镜与可动镜之间的间隙尺寸变化时，可动镜弯曲并以按压存在于形成间隙的空间内的空气的方式移动，保持与固定镜的间隙。此时，在空气被挤出的流路长的情况或者流路狭窄的情况下，空气阻力(由空气产生的抵抗力)作用于可动镜的移动方向，存在可动镜的移动时间变长的问题。因此，对于可动镜的移动，要达到获取所希望的波长的透过光，就要花费时间，从而使波长可变干涉滤波器的响应性下降。

本发明就是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为下述的方式或者应用例来实现。

应用例1

本应用例涉及的波长可变干涉滤波器的特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面，并接合所述第一基板与所述第二基板；以及槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。

根据该构成，在第一基板和第二基板彼此相对的面中至少一个面设有槽部，从而形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间经由槽部与外部连通。

因此，在以使第一反射膜与第二反射膜靠近的方式动作时，存在于形成间隙的空间的空气通过槽部流动到波长可变干涉滤波器的外部。

所以，第一反射膜与第二反射膜靠近时空气阻力难以作用。因此，第一反射膜与第二反射膜靠近时间变短，在短时间内可以实现获取所希望的波长的透过光，滤波器的响应性提高。

应用例2

在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述槽部被形成多个。

根据该构成，由于连通形成间隙的空间与外部的槽部形成有多个，因而在第一反射膜与第二反射膜靠近时，易于从形成间隙的空间经由槽部向波长可变干涉滤波器的外部挤出空气。

应用例3

在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述槽部从所述第一反射膜或第二反射膜的中心以等角度、放射状地形成。

根据该构成，由于槽部被从第一反射膜或者第二反射膜的中心以等角度、放射状地形成，因而被挤出的空气均等地经由各槽部向波长可变干涉滤波器的外部流走。因此，在第一反射膜与第二反射膜靠近时，第一基板或第二基板能够沿与厚度正交的方向平衡地移动，进而能够平衡地保持第一反射膜与第二反射膜。

应用例4

在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选地，在所述第二基板，形成有：可动部，设有所述第二反射膜，并且使所述第一反射膜与所述第二反射膜的间隙尺寸可变；以及连结保持部，与所述可动部连结，其厚度形成为比所述可动部的厚度薄，在与所述第二基板相对的所述第一基板，形成有所述槽部。

根据该构成，将第二基板作为可动侧的基板，具备可动部和与可动部连接的连结保持部，在固定侧的基板即第一基板形成有槽部。

虽然由于在可动侧的第二基板具有厚度被形成为比可动部的厚度薄的连结保持部，因而如果形成槽部，则恐怕不能够维持连结保持部的精度和功能，但是对于第一基板而言，由于是固定侧的基板，因而即使形成槽部也没有问题，并且，具有设计自由度。

这样，通过在固定侧的第一基板形成槽部，能够不受设计上的制约而形成用于使空气流动到外部的槽部。

应用例5

在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选，在所述槽部形成有多个具有接合所述第一基板与所述第二基板的接合面的柱状部。

根据该构成，由于槽部具有多个柱状部，因而在接合第一基板与第二基板时，柱状部的接合面与第一基板或第二基板接触，能够防止基板在槽部中弯曲。