[发明专利]一种晶体管阈值电压的测试电路有效
申请号: | 201210258616.X | 申请日: | 2012-07-24 |
公开(公告)号: | CN103576065A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 甘正浩;冯军宏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R19/00 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;高伟 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体管 阈值 电压 测试 电路 | ||
1.一种晶体管阈值电压的测试电路,所述测试电路包括阈值电压应力电路,所述阈值电压应力电路包括含有待测晶体管的镜像电流电路,所述镜像电流电路一端连接电源,另一端接地,其特征在于,所述测试电路还包括一开关电路,
所述开关电路控制所述阈值电压应力电路分别处于应力状态和测量状态,通过所述两种状态来测量所述待测晶体管的阈值电压。
2.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,所述开关电路包括第一晶体管和第二晶体管,
所述第一晶体管的源极与待测晶体管的漏极相连,所述第一晶体管的漏极接地,所述第一晶体管栅极与第一测量控制信号相连;
所述第二晶体管位于所述镜像电路和地之间,所述第二晶体管的源极与所述镜像电流电路相连,所述第二晶体管的漏极接地,所述第二晶体管的栅极与第二测量控制信号相连。
3.根据权利要求2所述的测试电路,其特征在于,所述第一测量控制信号控制所述第一晶体管打开,第二测量控制信号控制第二晶体管关闭时,所述应力电路处于断路,待测晶体管通过第一晶体管处于应力状态;所述第二测量控制信号控制第二晶体管打开,所述第一测量控制信号控制所述第一晶体管关闭时,所述应力电路处于通路,待测晶体管处于测量状态,然后通过上述两种状态来测量所述待测晶体管的阈值电压。
4.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,所述阈值电压应力电路还包括第一减法器电路,所述第一减法器电路与所述镜像电流电路并联,所述第一减法器电路的输出电压等于待测晶体管的阈值电压。
5.根据权利要求4所述的测试电路,其特征在于,所述第一减法器电路的一端与所述电源相连,另一端接地。
6.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,所述测试电路进一步包括一与所述阈值电压应力电路并联连接的参照电路,通过所述应力和测量两种状态来测量所述待测晶体管与所述参照电路中与待测晶体管对应的晶体管的阈值电压差。
7.根据权利要求6所述的测试电路,其特征在于,所述测试电路进一步包括第二减法器电路,所述第二减法器电路与所述阈值电压应力电路和所述参照电路电连接。
8.根据权利要求7所述的测试电路,其特征在于,所述第一测量控制信号控制所述第一晶体管打开,第二测量控制信号控制第二晶体管关闭时,所述应力电路、参照电路处于断路,待测晶体管通过第一晶体管处于应力状态,所述第二测量控制信号控制第二晶体管打开,所述第一测量控制信号控制所述第一晶体管关闭时,所述应力电路、参照电路和第二减法器电路形成通路,待测晶体管处于测量状态,通过所述两种状态来测量所述待测晶体管与所述参照电路中与待测晶体管对应的晶体管的阈值电压差。
9.根据权利要求6所述的测试电路,其特征在于,所述参照电路为与所述应力电路相同的镜像电流电路,所述参照电路中与待测晶体管对应的晶体管上不施加应力。
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