[发明专利]涂敷装置

权利要求书

1.一种涂敷装置，在使狭缝喷嘴上的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面相接近的状态下，使上述狭缝喷嘴相对于该基板在水平方向上移动，由此向上述基板的表面涂敷涂敷液，其特征在于，

上述涂敷装置具有多个吸附构件，在上述狭缝喷嘴向上述基板涂敷涂敷液的期间，多个上述吸附构件在对上述基板的背面上的多个位置进行吸附保持的状态下，将上述基板按压于上述载物台的表面，由此将上述基板保持为相对于上述载物台平坦的状态。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

上述吸附构件由吸附盘构成，该吸附盘具有由弹性材料形成的盘状的吸附部和与减压单元相连通的基部，该吸附盘位于在上述载物台上形成的孔部内，并且，该吸附盘的基部以吸附部的前端从上述载物台的表面突出的状态固定于上述载物台，

在上述吸附部的前端和上述基板的背面相抵接的状态下，对由上述吸附部和上述基板形成的空间的内部进行排气，由此利用上述吸附部发生弹性变形的作用，来将上述基板的背面按压于上述载物台的表面。

3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，

上述涂敷装置还具有外周部按压构件，该外周部按压构件用于将载置在上述载物台上的基板的外周部按压于上述载物台的表面。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，上述涂敷装置还具有：

基板搬运机构，相对于上述载物台水平地搬运上述基板；

多个基板搬运构件，设置于上述载物台上，并能够在搬运位置和退避位置之间进行升降，上述搬运位置是指，通过使上述基板搬运构件的至少一部分配置于上述载物台的表面的上方，来在与上述基板搬运机构之间搬运上述基板的位置，上述退避位置是指，通过使上述基板搬运构件的全部配置于上述载物台的表面的下方，来使上述基板吸附保持于上述载物台的表面的位置。

5.根据权利要求4所述的涂敷装置，其特征在于，

上述多个基板搬运构件为多个辊或多个传送带，所述多个辊或多个传送带配置于在载物台形成的孔部内且能够彼此同步地升降。

6.根据权利要求4所述的涂敷装置，其特征在于，

上述狭缝喷嘴相对于上述载物台在第一方向上进行往复移动，并且上述基板搬运机构以及上述多个基板搬运构件在与上述第一方向垂直的第二方向上搬运基板。

7.根据权利要求6所述的涂敷装置，其特征在于，

上述基板搬运机构能够在交接位置和分离位置之间进行往复移动，上述交接位置是指，接近上述载物台来交接基板的位置，所述分离位置是指，上述狭缝喷嘴能够沿着上述第一方向在上述载物台和上述基板搬运机构之间进行往复移动的位置。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，

上述基板为太阳电池用基板。

9.根据权利要求8所述的涂敷装置，其特征在于，

上述基板的厚度在1.7mm以上。