[发明专利]涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于向有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、太阳电池用基板、PDP用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等基板涂敷涂敷液的涂敷装置。

背景技术

在这样的涂敷装置中，采用如下的构成，即，将基板载置于载物台上，并且在使狭缝喷嘴的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面接近的状态下，使该狭缝喷嘴沿着基板的表面移动，从而向基板的表面涂敷涂敷液。

在这样的涂敷装置中，在将基板搬入到载物台上或者从载物台上搬出基板时，使用以能够升降的方式设置于载物台上的升降销和与该升降销之间交接基板的搬运机械手（参照日本特开2007-287914号公报）。

另外，还提出了一种涂敷装置，在该涂敷装置中，一边通过辊来搬运基板，一边从狭缝喷嘴向基板的表面涂敷涂敷液（参照日本特开2009-61380号公报）。

另外，为了将基板吸附保持于载物台上，还提出了如下的基板固定方法，即，在通过吸附垫吸附了基板的状态下，使该吸附垫向载物台方向移动，在通过吸附垫将基板的整个面按压在载物台的状态下，将该基板吸附保持于载物台上，然后，解除吸附垫的按压力（参照日本特开2004-179399号公报）。

在作为基板使用比较厚且翘曲大的太阳电池用基板的情况下，会有不能将基板完全地吸附保持于载物台上的情况。即，如日本特开2004-179399号公报所述，即使暂时将基板吸附保持在载物台上，也因为基板的厚度大且翘曲也厉害，所以可能在基板的一部分区域和载物台之间产生空隙。在产生这样的现象的情况下，不能使基板和狭缝喷嘴之间的距离保持恒定，涂敷液的涂敷精度会降低。另外，在基板的翘曲大的情况下，也会有基板和狭缝喷嘴碰撞的危险。此外，这样的现象尤其容易发生在厚度在1.7mm以上的太阳电池用基板中。

为了解决这样的问题，也能够通过喷射涂敷方式、真空蒸镀法或者化学气相沉积法等在基板的表面进行成膜，但成膜材料的使用効率差，另外，制造成本也会高。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供例如向如太阳电池用基板那样翘曲大的基板涂敷涂敷液的情况下，也能够高精度地涂敷涂敷液的涂敷装置。

技术方案1所述的发明为一种涂敷装置，该涂敷装置在使狭缝喷嘴的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面相接近的状态下，通过使狭缝喷嘴的涂敷液喷出用狭缝相对于该基板在水平方向上移动，由此向基板的表面涂敷涂敷液，其特征在于，具有：

该涂敷装置具有多个吸附构件，在通过上述狭缝喷嘴向上述基板涂敷涂敷液的期间，上述多个吸附构件在对上述基板的背面的多个位置进行吸附保持的状态下，将上述基板按压于上述载物台的表面，由此将上述基板相对于上述载物台保持为平坦的状态。

技术方案2所述的发明在技术方案1所述的发明的基础上，其特征在于，

上述吸附构件由吸附盘构成，该吸附盘具有由弹性材料形成的盘状的吸附部和与减压单元相连通的基部，该吸附盘位于在上述载物台上的孔部内，并且，该吸附盘的基部以吸附部的前端从上述载物台的表面突出的状态固定于上述载物台，

在上述吸附部的前端和上述基板的背面相抵接的状态下，通过对由上述吸附部和上述基板形成的空间的内部进行排气，由此利用上述吸附部发生弹性变形的作用，来将上述基板的背面按压于上述载物台的表面

技术方案3所述的发明在技术方案2所述的发明的基础上，其特征在于，

上述涂敷装置还具有外周部按压构件，该外周部按压构件将载置在上述载物台上的基板的外周部按压于上述载物台的表面。

技术方案4所述的发明在技术方案1至3中任一项所述的发明的基础上，其特征在于，该涂敷装置还具有：

基板搬运机构，相对于上述载物台水平地搬运基板；

多个基板搬运构件，设置于上述载物台上，并能够在搬运位置和退避位置之间进行升降，上述搬运位置是指，通过使上述基板搬运构件的至少一部分配置于上述载物台的表面的上方，来在与上述基板搬运机构之间搬运上述基板的位置，上述退避位置是指，通过将上述基板搬运构件的全部配置于上述载物台的表面的下方，来使上述基板吸附保持于上述载物台的表面的位置

技术方案5所述的发明在技术方案4所述的发明的基础上，其特征在于，

上述多个基板搬运构件为多个辊或多个传送带，所述多个辊或多个传送带配置于在载物台形成的孔部内并且能够彼此同步地升降。

技术方案6所述的发明在技术方案4所述的发明的基础上，其特征在于，