[发明专利]大功率整晶圆IGBT陶瓷封装外壳无效
申请号: | 201210263537.8 | 申请日: | 2012-07-28 |
公开(公告)号: | CN102768997A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 陈国贤;徐宏伟;陈蓓璐 | 申请(专利权)人: | 江阴市赛英电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/055 | 分类号: | H01L23/055;H01L23/48 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 214432 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大功率 整晶圆 igbt 陶瓷封装 外壳 | ||
技术领域
本发明涉及一种陶瓷封装外壳,特别涉及一种大功率整晶圆IGBT陶瓷封装外壳。属于电力半导体器件技术领域。
背景技术
绝缘栅双极晶体管——IGBT,随着应用领域的不断拓展,近年来取得了快速发展,已成为当前电力电子器件的主流产品,千安级以上的大功率IGBT已成为轻型直流输电、轨道交通、新能源等大功率变流领域的首选。
IGBT常被封装成两种结构,一种是采用芯片焊接和引线超声键合的塑料模块结构,这种结构的优点是工艺简单,缺点是只能实现单面散热,在高压大电流条件下可靠性变差。另一种是采用平板压接式封装的陶瓷模块,这种结构的优点是能够双面散热,清除了焊接热疲劳,提高了可靠性,在大功率领域应用上有明显优势,缺点是每个部件必须有很好的一致性,因此对工艺的要求极高。
IGBT芯片常被制成独立的方片单元,对陶瓷模块来说,需要在外壳电极上雕刻一些凸出的矩形电极群来封装每个芯片单元。要完全消除电极群的机械应力、焊接高温形变等诸多因素的影响,保证整个电极群表面具有很高的平整度,从而满足IGBT芯片压接式封装的要求,这将对陶瓷外壳生产的工艺控制、成品率提出考验。
随着IGBT芯片制造技术的提高,目前已研制成功一种在一个整晶圆芯片上刻蚀多个独立的IGBT器件单元,相应地需要一种新型封装外壳来实现整晶圆IGBT的封装。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足,提供一种适合整晶圆IGBT封装的新型陶瓷外壳,能够实现IGBT所有芯片单元的门极连接和引出。
本发明的目的是这样实现的:一种大功率整晶圆IGBT陶瓷封装外壳,它包括陶瓷底座、过渡电极和上盖,所述陶瓷底座包括自上而下叠合同心焊接的阳极法兰、瓷环和阳极密封圈,在所述阳极密封圈内同心焊接有阳极电极,在所述瓷环的壳壁上穿接有门极引线管,在所述门极引线管的内、外端分别焊接有门极内插片和门极外插片,所述上盖盖置于陶瓷底座上,上盖包含有阴极电极和阴极法兰,所述阴极法兰同心焊接在阴极电极的外缘上;所述过渡电极置于阳极电极上,在所述过渡电极上设置有门极针定位孔、门极环定位槽和芯片定位孔。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本发明不需要雕刻矩形电极群,只需在过渡电极上加工简单的定位孔和定位槽,大幅提高了加工效率和成品率,并且过渡电极不需与瓷环相焊接,因此没有焊接应力,与矩形电极群相比,接触面积增加了20%左右,从而提高了电极的导电、导热性能。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的过渡电极的结构示意图。
其中:
陶瓷底座1
过渡电极2
上盖3
阳极法兰1-1
瓷环1-2
阳极密封圈1-3
阳极电极1-4
门极引线管1-5
门极外插片1-6
门极内插片1-7
门极针定位孔2-1
门极环定位槽2-2
芯片定位孔2-3
阴极电极3-1
阴极法兰3-2。
具体实施方式
参见图1,本发明涉及一种大功率整晶圆IGBT陶瓷封装外壳,主要由陶瓷底座1、过渡电极2和上盖3组成,其中陶瓷底座1包含有阳极法兰1-1、瓷环1-2、阳极密封圈1-3、阳极电极1-4、门极引线管1-5、门极外插片1-6和门极内插片1-7,阳极密封圈1-3焊接在瓷环1-2的下端面,阳极法兰1-1焊接在瓷环1-2的上端面,所述阳极法兰1-1、瓷环1-2和阳极密封圈1-3自上至下叠合同心焊接,所述阳极电极1-4同心焊接在阳极密封圈1-3中,门极引线管1-5穿接于瓷环1-2壳壁上,门极内插片1-7与处于瓷环1-2内的门极引线管1-5一端垂直焊接,门极外插片1-6水平焊接于瓷环1-2外的门极引线管1-5一端;所述上盖3盖置于陶瓷底座1上,上盖3包含有阴极电极3-1和阴极法兰3-2,所述阴极法兰3-2同心焊接在阴极电极3-1的外缘上;所述过渡电极2置于阳极电极1-4上,在所述过渡电极2上设置有门极针定位孔2-1、门极环定位槽2-2和芯片定位孔2-3,其中门极针定位孔2-1和门极环定位槽2-2根据需要封装的芯片进行设计。
通过门极针定位孔2-1、门极环定位槽2-2、门极内插片1-7、门极引线管1-5和门极外插片1-6的设计,可以实现整晶圆IGBT芯片门极的连接与引出。
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