[发明专利]用于焊接掩模检验的系统和方法

权利要求书

1.一种用于检验辅助印刷的方法，所述方法包括：

在印刷工艺期间，由系统的印刷单元在衬底的区域上印刷图案；

由所述系统的检验单元检验所述区域以提供检验结果；

由所述系统的处理器基于所述检验结果来搜索缺陷；以及

其中，如果发现缺陷，则响应于所述缺陷确定是（a）修复所述衬底，还是（b）执行用于改善所述印刷工艺的校正措施，还是（c）不执行校正措施。

2.根据权利要求1所述的方法，包括：如果确定要执行所述校正措施，则执行所述校正措施。

3.根据权利要求1所述的方法，包括：在完成所述印刷工艺之前执行所述检验和所述响应；其中，所述响应包括：如果确定缺陷是不可恢复的，则在完成所述印刷工艺之前停止所述印刷工艺。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：在开始所述印刷工艺之前执行所述衬底的初始检验，以及基于所述初始检验的结果来确定是否开始所述印刷工艺。

5.根据权利要求1所述的方法，包括：在完成所述印刷工艺之后执行所述检验。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述确定是响应于所述缺陷的严重性的。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，执行校正措施包括：修改至少一个印刷参数。

8.根据权利要求1所述的方法，包括：在所述衬底与在所述印刷单元、所述检验单元和所述修复单元之中选择的至少一个单元之间引入相对移动。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述校正措施包括：修复所述印刷单元。

10.根据权利要求1所述的方法，包括：在开始所述印刷工艺之前执行清洗工艺，以移除能够有助于所述缺陷的生成的潜在外部元素。

11.根据权利要求1所述的方法，包括：如果确定要执行所述校正措施，则帮助执行所述校正措施，其中，所述校正措施用于防止在未来印刷操作期间再次出现所述缺陷。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括：如果确定要修复所述衬底，则通过由所述系统的修复单元修复所述衬底来对所述确定进行响应。

13.一种用于检验辅助印刷的系统，所述系统包括:

印刷单元，其被布置成在印刷工艺期间在衬底的区域上印刷图案；

检验单元，其被布置成检验所述衬底的所述区域以提供检验结果；以及

处理器，其被布置成基于所述检验结果搜索缺陷；并且如果发现缺陷则响应于所述缺陷来确定是（a）修复所述衬底，还是（b）执行用于改善所述印刷工艺的校正措施，还是（c）不执行校正措施。

14.根据权利要求13所述的系统，包括：印刷系统调整单元，其被布置成如果确定要执行所述校正措施则执行所述校正措施。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述印刷系统调整单元被布置成修改至少一个印刷参数。

16.根据权利要求13所述的系统，所述系统被布置成执行所述检验，并确定是否在完成所述印刷工艺之前应用所述校正措施。

17.根据权利要求13所述的系统，所述系统被布置成如果确定缺陷是不可修复的，则在完成所述印刷工艺之前停止所述印刷工艺。

18.根据权利要求13所述的系统，其中，所述检验单元被布置成在开始所述印刷工艺之前执行所述衬底的所述区域的初始检验，其中，所述处理器被布置成基于所述初始检验的结果来确定是否开始所述印刷工艺。

19.根据权利要求13所述的系统，其中，所述处理器被布置成确定所述缺陷的严重性。

20.根据权利要求13所述的系统，包括：移动单元，其被布置成在所述衬底与在所述印刷单元、所述检验单元和所述修复单元中选择的至少一个单元之间引入相对移动。

21.根据权利要求13所述的系统，包括：清洗单元，其被布置成在开始所述印刷工艺之前清洗所述衬底，以移除能够有助于所述缺陷的生成的潜在外部元素。

22.根据权利要求13所述的系统，还包括：修复单元，其被布置成如果确定要修复所述衬底，则通过修复所述衬底来对所述确定进行响应。