[发明专利]基板处理装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及基板处理装置，更详细地说，涉及执行液晶显示屏的工序处理的装置。

背景技术

液晶显示屏的制造工序包括：涂布工序，向玻璃基板表面上供给及涂布处理液；和涂敷(Coating)工序，在涂布了处理液的基板上形成涂层。作为执行涂布工序的装置，使用以喷墨印刷方式在基板表面上直接印刷处理液的装置。

涂布工序和涂敷工序在工序中使用的装置互不相同，在每个独立的腔室中执行工序。因此，在涂布装置和涂敷装置之间要求有用于传送基板的传送装置。这种装置有下述问题：不仅增加了整个设备面积，而且传送基板增加了整个工序时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国专利公开第10-2010-0060690号公报

发明内容

本发明的实施方式提供一种能够缩短整个工序时间的装置及方法。

此外，本发明的实施方式提供一种能够减少设备整个面积的装置。

此外，本发明的实施方式提供一种能够用1个装置涂布多种处理液的装置及方法。

本发明一实施方式的基板处理装置包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴(喷墨喷嘴)，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴(涂敷喷嘴)，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。

此外，上述台架单元可以包括：第1台架，支持上述喷墨嘴，横穿上述基板支持单元的上部而从上述基板支持单元的一侧向另一侧沿上述第1方向直线移动；和第2台架，支持上述涂敷嘴，横穿上述基板支持单元的上部而从上述基板支持单元的一侧向另一侧沿上述第1方向直线移动。

此外，上述第1台架和上述第2台架可以沿一对导轨直线移动，该一对导轨在上述基板支持单元的两侧相互对置并沿上述第1方向配置。

此外，上述涂敷嘴中，其长度可沿从上部看时与上述第1方向垂直的第2方向配置，在底面上可沿上述第2方向形成吐出上述第2处理液的狭缝孔。

此外，可以在上述第1台架上安装有多个上述喷墨嘴；上述喷墨嘴沿从上部看时与上述第1方向垂直的第2方向排列；还包括喷墨嘴移动部，其使上述喷墨嘴沿上述第2方向直线移动，使得上述喷墨嘴相对于上述第1台架的相对位置变更。

此外，多个上述喷墨嘴可沿上述第2方向排列成一列；至少提供2个以上的、上述喷墨嘴的列。

此外，上述台架单元还可以包括台架驱动部，其使上述第1台架旋转，使得上述第1台架的长度方向按照相对于从上部看时与上述第1方向垂直的第2方向以规定角度倾斜的方式配置。

此外，上述台架驱动部可以上述第1台架的一端为旋转中心而使上述第1

台架的另一端旋转。

此外，上述台架单元可以包括第2台架，其支持上述喷墨嘴和上述涂敷嘴，

横穿上述基板支持单元的上部而从上述基板支持单元的一侧向另一侧沿上述

第1方向直线移动。

此外，上述涂敷嘴中，其长度可沿从上部看时与上述第1方向垂直的第2

方向配置，在底面上可沿上述第2方向形成吐出上述第2处理液的狭缝孔；上

述喷墨嘴沿上述第1方向分别位于上述涂敷嘴的前方和后方，其沿上述第2方向排列有多个。

本发明一实施方式的基板处理方法包括：第1处理液吐出阶段，喷墨嘴在基板支持单元的上部沿第1方向直线移动，将第1处理液吐出到被上述基板支持单元支持的基板上；和第2处理液吐出阶段，涂敷嘴在上述基板支持单元的上部沿第1方向直线移动，将与上述第1处理液不同的第2处理液吐出到上述基板上；上述第1处理液吐出阶段和上述第2处理液吐出阶段依次、连续进行。

此外，可以使上述喷墨嘴被支持在第1台架上进行移动，该第1台架能够沿上述第1方向直线移动；上述涂敷嘴被支持在第2台架上进行移动，该第2台架与上述第1台架并列配置，能够沿上述第1方向直线移动。

此外，多个上述喷墨嘴可以沿从上部看时与上述第1方向垂直的第2方向排列成一列，相邻的上述喷墨嘴之间的间隔被固定；上述第1台架被旋转规定角度而沿上述第2方向来变更上述喷墨嘴之间的间隔。

此外，上述喷墨嘴和上述涂敷嘴可以被支持在台架上进行移动，该台架能够沿上述第1方向直线移动；上述喷墨嘴可以沿上述第1方向位于上述涂敷嘴的前方和后方中的至少某一方。

根据本发明的实施方式，在装置之间不需要传送基板，所以能缩短整个工序时间。