[发明专利]感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件

权利要求书

1.一种感光性聚合物组合物，包括：

(a)具有如下述通式(I)所示的重复单元、且在末端具有酚性羟基的聚酰胺；

【化1】

(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团、p为表示重复单元数的整数)

(b)经光照产生酸的化合物：以及

(c)如下述通式(II)所示的化合物，

【化2】

(式中，m为2，n为1；R各自分别为氢、甲基或乙基；R¹及R²各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。

2.如权利要求1所述的感光性聚合物组合物，其中上述通式(II)所表示的化合物为2，2-双[3，5-双(羟甲基)-4-羟基苯基]-1，1，1，3，3，3-六氟丙烷。

3.如权利要求1所述的感光性聚合物组合物，其中上述通式(11)所表示的化合物为2，2-双[3，5-双(甲氧甲基)-4-羟基苯基]-1，1，1，3，3，3-六氟丙烷。

4.如权利要求1～3中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中上述(a)成分、(b)成分、(c)成分间的混合比例，相对于上述(a)成分100重量份，(b)成分为5～100重量份，(c)成分为1～30重量份。

5.如权利要求1～3中任一项所述的感光性聚合物组合物，还包括(d)使上述(a)成分对于碱性水溶液的溶解性降低的化合物。

6.如权利要求5所述的感光性聚合物组合物，其中上述(d)成分为下述通式(III)所示的二芳基碘鎓盐；

【化3】

式中，X^-表示对阴离子，R³及R⁴各自分别表示烷基、链烯基，a及b各自分别为0～5的整数。

7.如权利要求5所述的感光性聚合物组合物，其中上述(a)成分、(b)成分、(c)成分、(d)成分间的混合比例，相对于上述(a)成分100重量份，(b)成分为5～100重量份，(c)成分为1～30重量份，(d)成分为0.01～15重量份。

8.一种图案制造方法，包括：

将权利要求1～3中的任意一项所述的感光性聚合物组合物涂布于支持基板上并干燥的工序：

将通过上述干燥所得的感光性树脂层曝光成规定图案的工序；

将上述曝光后的感光性树脂层显影的工序；以及

将上述显影后的感光性树脂层加热处理的工序。

9.如权利要求8项所述的图案制造方法，其中上述曝光工序中使用的曝光光源为i线。

10.一种电子部件，其特征在于，此电子部件含有具有按照权利要求8项所述的制造方法得到的图案层的电子元件，上述电子元件中的上述图案层被设置为层间绝缘膜层及/或表面保护膜层。