[发明专利]表面处理湿制程清洗液循环利用方法

权利要求书

1.一种表面处理湿制程清洗液循环利用方法，用于循环利用表面处理湿制程中产生的待处理清洗液，该待处理清洗液包含杂质、羟基有机物、分子级颗粒、螯合剂、阴离子以及阳离子，其特征在于，该方法包括如下步骤：

利用一清洗液存储槽存储待处理的清洗液，藉以形成储存清洗液；

利用一逆渗透单元以进行逆渗透处理，系将该清洗液储存槽中的储存清洗液经一高压帮浦注入该逆渗透单元中，且该逆渗透单元具有奈米分子级逆渗透(Reverse Osmosis，RO)膜，藉以将该储存清洗液分离成浓缩液以及渗透液，其中该浓缩液含有较高浓度的钠离子或分子级颗粒，且该渗透液含有较低浓度的钠离子，而该渗透液被回送至该清洗液储存槽；

利用一后级处理单元以进行后级处理，系将该逆渗透单元之渗透液注入该后级处理单元，其中后级处理单元包含有树脂，用以吸附该储存清洗液中的阴离子以及阳离子，产生具有去离子水(De-ionized Water)等级的再生去离子水，并排出以供再利用；

利用一浓缩液储存槽以储存该逆渗透单元的浓缩液，藉以形成储存浓缩液；以及，

利用一双极电透析单元对该浓缩液储存槽中的储存浓缩液进行电解液透析处理，以产生透析浓缩液、酸性水、碱性水、电极液及透析水，该透析浓缩液是回送到该浓缩液储存槽，而该酸性水、该碱性水、该电极液及该透析水分别储存于一酸性水储存槽、一碱性水储存槽、一电极液储存槽及一透析水储存槽，其中该酸性水储存槽、该碱性水储存槽及该电极液储存槽中的酸性水、碱性水及电极液系部分回送到该双极电透析单元，且另一部分传送至一吸附单元以进行吸附处理，该吸附单元包括三个吸附模块，且每个吸附模块具有不同的树脂，用以分别吸附该酸性水、该碱性水及该电极液中残余的阴离子、阳离子及螯合剂，而经该吸附单元之吸附处理后的该酸性水、该碱性水及该电极液进一步回送到该浓缩液储存槽，该透析水储存槽中部分的该透析水被回送到该双极电透析单元，而另外部分的该透析水则回送至该逆渗透单元。

2.一种表面处理湿制程清洗液循环利用方法，是用于循环利用表面处理湿制程中产生的待处理清洗液，该待处理清洗液包含杂质、羟基有机物、分子级颗粒、螯合剂、阴离子以及阳离子，其特征在于，所述的表面处理湿制程清洗液循环利用方法包括如下步骤：

利用一清洗液储存槽以储存待处理的清洗液，藉以形成储存清洗液；

利用一预先处理单元对该储存清洗液进行预先处理，以形成预先处理液，且该预先处理单元包括一碳纤维过滤器及/或一臭氧产生器，其中该碳纤维过滤器系用以去除该储存清洗液中的杂质，而该臭氧产生器藉产生臭氧而对该储存清洗液中的羟基有机物进行氧化处理并去除该羟基有机物，且该预先处理液系回送至该清洗液储存槽；

利用一逆渗透单元以进行逆渗透处理，系将该清洗液储存槽中的储存清洗液经一高压帮浦注入该逆渗透单元中，且该逆渗透单元具有奈米分子级逆渗透(Reverse Osmosis，RO)膜，藉以将该储存清洗液分离成浓缩液以及渗透液，其中该浓缩液含有较高浓度的钠离子或分子级颗粒，且该渗透液含有较低浓度的钠离子，而该渗透液被回送至该清洗液储存槽；

利用一后级处理单元以进行后级处理，系将该逆渗透单元之渗透液注入该后级处理单元，其中后级处理单元包含有树脂，用以吸附该储存清洗液中的阴离子以及阳离子，产生具有去离子水(De-ionized Water)等级的再生去离子水，并排出以供再利用；

利用一浓缩液储存槽以储存该逆渗透单元的浓缩液，藉以形成储存浓缩液；以及

利用一双极电透析单元对该浓缩液储存槽中的储存浓缩液进行电解液透析处理，以产生透析浓缩液、酸性水、碱性水、电极液及透析水，该透析浓缩液是回送到该浓缩液储存槽，而该酸性水、该碱性水、该电极液及该透析水分别储存于一酸性水储存槽、一碱性水储存槽、一电极液储存槽及一透析水储存槽，其中该酸性水储存槽、该碱性水储存槽及该电极液储存槽中的酸性水、碱性水及电极液系部分回送到该双极电透析单元，且另一部分传送至一吸附单元以进行吸附处理，该吸附单元包括三个吸附模块，且每个吸附模块具有不同的树脂，用以分别吸附该酸性水、该碱性水及该电极液中残余的阴离子、阳离子及螯合剂，而经该吸附单元之吸附处理后的该酸性水、该碱性水及该电极液进一步回送到该浓缩液储存槽，该透析水储存槽中部分的该透析水被回送到该双极电透析单元，而另外部分的该透析水则回送至该逆渗透单元。