[发明专利]表面处理湿制程清洗液循环利用方法

说明书

技术领域

本发明特别涉及一种利用逆渗透膜的逆渗透过滤浓缩液作用以及双极电透析单元的电透析分离作用而运作的清洗液循环利用方法。

背景技术

随着电子科技的进步，印刷电路板(PCB)已广泛的应用于各种生产工具机、电子装置或家电产品中，且印刷电路板更需要具有不同功能的半导体集成电路(IC)，而印刷电路板以及集成电路一般是利用湿制程所制造，且需要利用清洗液以清洗处理过程中的中间处理物件，比如利用不同蚀刻剂的蚀刻处理制程之间。

目前，通常使用去离子水当作清洗液，而清洗后的清洗液含有大量的污染性物质，比如污染性的颗粒、重金属、阴离子及阳离子，或是可再被利用的特殊化学药剂，比如螯合剂，因此，不可直接排放，以避免污染环境，而需要进一步处理，以降低或去除污染性物质的含量，并回收有价值的成分。

在现有技术中，回收再利用的处理方式，一般是将各制程中所产生的清洗液以及其它制程所产生的污染物集中当做废水，并使用昂贵且操作复杂的废水处理设备进行废水处理，滤除其中的有害物质，产生低污染性的污泥及排放水。然而，现有技术的缺点在于无法达到零排放的目标，且污泥的最终处理一般是采用掩埋方式，但是在时下土地取得愈困难的现实条件下，已无法妥善处理日益增加的污泥量。

因此，需要一种表面处理湿制程清洗液循环利用方法，利用逆渗透处理并配合电透析处理，以提供回收再利用及零排放的环保处理方式，进而解决上述现有技术的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种表面处理湿制程清洗液循环利用方法，用于回收并再利用表面处理湿制程中具污染性阴离子及阳离子的待处理清洗液，包括：利用碳纤维过滤器及臭氧产生器对待处理清洗液进行预先处理，藉以去除其中的杂质及羟基有机物；利用纳米分子级逆渗透膜进行逆渗透处理，以形成含高钠离子的浓缩液以及低钠离子的渗透液；利用后级处理单元进行后级处理，藉树脂吸附阴离子及阳离子，产生并排出具去离子等级的再生去离子水，以供再利用；利用浓缩液储存槽以储存浓缩液，并利用双极电透析单元进行电透析处理，产生可被再利用的透析水。

因此，本发明的方法可以提高表面处理湿制程中水资源的循环再利用，进而达到减废及零排放的目的。

附图说明

图1是本发明表面处理湿制程清洗液循环利用方法的工艺流程图；

图2是本发明表面处理湿制程清洗液循环利用方法的系统结构示意图；

图3是本发明方法中双极电透析单元的结构示意图；

以上各图中所示符号所指示之组件分别为：

C电透析腔体、F电透析膜、L1待处理清洗液、L2储存清洗液、L3预先处理液、L4浓缩液、L5渗透液、L6再生去离子水、L7储存浓缩液、L8透析浓缩液、L9透析水、S10 预先处理、 S20逆渗透处理、S30 后级处理、S40储存浓缩液、S50电解液透析处理、T1清洗液储存槽、T2浓缩液储存槽、T3酸性水储存槽、 T4碱性水储存槽、 T5电极液储存槽、T6透析水储存槽、U1预先处理单元、U2逆渗透单元、U3后级处理单元、U4双极电透析单元、U5吸附单元。

具体实施方式

以下配合图示及组件符号对本发明的实施方式做更详细的说明，俾使任何熟习该项技艺者在研读本说明书后能据以实施。

参阅图1，本发明表面处理湿制程清洗液循环利用方法包括依序进行如下的步骤：预先处理S10、逆渗透处理S20以及后级处理S30，用以回收并再利用表面处理湿制程中具污染性阴离子及阳离子的待处理清洗液，同时配合另二步骤，亦即储存浓缩液S40以及电解液透析处理S50，藉以提高再生清洗液的质量及整体处理效率。

为进一步清楚说明本发明处理方法的特征，请同时参阅图2，本发明表面处理湿制程清洗液循环利用方法的系统结构示意图。

上述的待处理清洗液包含杂质、羟基有机物、分子级颗粒、螯合剂、阴离子以及阳离子。