[发明专利]光学设备及光学定址方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学设备，且特别涉及一种具有定址功能的光学设备。

背景技术

利用光学方式检测检体时，由于检测的检体的受测点并非单一位置，而常常是多个非固定的位置。然而，受限于受测的检体上无任何规律特征点可供参考，通常只能采取开路测试（open-loop）的方式取像或信号检测，或者是利用光学扫描装置，例如是激光扫描振镜(Galvo mirror)上所配置的检流计(galvanometer)、光学编码器或磁性编码器，输出光学扫描装置目前的扫描位置信息，再利用复杂且非线性的座标转换关系式推算出实际的受测点位置。

由于受测点距离上述的位置信息输出点的距离远大于受测检体的维度，使得量测的误差在作非线性座标转换时被放大，造成受测点推算位置与实际位置间的定位精度差。此外，对于需要长时间持续间隔观察的检体试片，一旦检体试片从原来的检测设备移开之后，再次移入观察时会有影像错位的情况发生，不利于检体进行时间变化的前后比对。

发明内容

本发明的目的在于提供一种设备，具有检体检测装置及位置检测装置，可以同时取得检体信息及对应于检体信息的位置信息，据以获得检体的定址信息。

根据本发明的一实施例，提出一种光学设备，用于定址待测的检体。光学设备包括光学装置、控制器及处理模块，光学设备包括光源、检体检测装置及位置检测装置。检体检测装置包括第一物镜及第一感测器，光源的光束利用第一物镜聚焦于检体区的检体。位置检测装置包括第二物镜及第二感测器，光源的光束利用第二物镜聚焦于编码区。控制器控制光源的光束聚焦于检体区的多个检测位置以产生多个第一光信号输出至第一感测器，同时控制光源的光束聚焦于编码区的多个编码位置以产生多个第二光信号输出至第二感测器，每一检测位置与对应的编码位置之间的相对位置相同。处理模块根据第一及第二光信号以得到检体的定址信息。

根据本发明的另一实施例，提出一种光学定址方法，方法包括以下步骤。提供一光学设备，包括光学装置、控制器及处理模块。光学装置包括光源、检体检测装置及位置检测装置。检体检测装置包括第一物镜及第一感测器。位置检测装置包括第二物镜及第二感测器。提供一待测物，包括一检体区及一编码区。检体区具有多个检测位置且编码区具有多个编码位置，检体区上具有一检体。利用第一物镜聚焦光源的光束于检体上，且同时利用第二物镜聚焦光源的光束于编码区上。控制器控制光源的光束聚焦于多个检测位置后产生多个第一光信号以输出至第一感测器，且控制光源的光束聚焦于编码位置后产生多个第二光信号以输出至第二感测器。每一检测位置与对应的编码位置之间的相对位置相同。处理模块根据第一光信号及第二光信号计算检体的定址信息。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1～图2绘示依照本发明不同实施例的光学设备的示意图；

图3～图8绘示依照本发明不同实施例的光学装置与检测的待测物的示意图；

图9A～图9D绘示依照本发明不同实施例的待测物的示意图；

图10绘示依照本发明一实施例的待测物的俯视图；

图11绘示依照本发明一实施例的第二光束聚焦于待测物的不同位置时的示意图；

图12绘示第二光束聚焦于如图10的区间B2跨越不同轨道时所对应的第二光信号强度的示意图；

图13～图14绘示依照本发明不同实施例的光学设备的扫描路径的示意图；

图15绘示依照本发明一实施例的光学定址方法的流程图。

其中，附图标记

1、2：光学设备

10、20、30、40、50、60、70、80：光学装置

12、12-1、12-2、22、32、42、52、62、72、82、92-1、92-2、92-3、92-4：待测物

12A、22A、32A、42A、52A、62A、72A、82A、920A、922A、924A、926A：检体区

12B、22B、32B、42B、52B、62B、72B、82B、920B、922B、924B、926B：编码区

102、142、202、242、302、342、402、442、502、542、602、742、842：光源

104、144、204、244、304、344、404、444、504、544、604、644、704、744、804、844：感测器