[发明专利]旋转式沉积设备

权利要求书

1.一种旋转式沉积设备，包括：

至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板；

至少一个第一旋转装置，旋转所述玻璃面板保持架；

至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到所述玻璃面板上；以及

至少一个隔间，所述隔间中包含所述玻璃面板保持架、所述第一旋转装置和所述沉积源。

2.根据权利要求1所述的旋转式沉积设备，进一步包括：至少一个喷嘴单元，连接至所述沉积源，所述喷嘴单元包括多个喷嘴，使得所述沉积材料通过所述喷嘴排放到所述玻璃面板上；以及

至少一个第二旋转装置，使所述喷嘴单元旋转，

其中，所述第二旋转装置使所述喷嘴单元沿与所述玻璃面板保持架的旋转方向相反的方向旋转。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述隔间包括多个沉积源，每个沉积源存储不同种类的沉积材料。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述旋转式沉积设备包括多个隔间，每个隔间均包含沉积源和玻璃面板保持架，并且各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。

5.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述旋转式沉积设备包括以直线型布置方式顺序地一个接一个地连接的多个隔间。

6.根据权利要求5所述的旋转式沉积设备，其中，每个所述隔间包含沉积源和玻璃面板保持架，并且各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。

7.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述沉积源布置在所述隔间的底表面上，并且所述玻璃面板保持架布置在所述隔间的顶表面下方，

其中，所述玻璃面板布置在所述沉积源与所述玻璃面板保持架之间。

8.一种旋转式沉积设备，包括：

至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板；

至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到所述玻璃面板上；

至少一个喷嘴单元，连接至所述沉积源，所述喷嘴单元包括多个喷嘴，使得所述沉积材料通过所述喷嘴排放到所述玻璃面板上；

至少一个旋转装置，使所述喷嘴单元旋转；以及

至少一个隔间，所述隔间中包含所述玻璃面板保持架、所述沉积源、所述喷嘴单元和所述旋转装置。

9.根据权利要求3所述的旋转式沉积设备，其中，所述隔间包括多个沉积源，每个沉积源存储不同种类的沉积材料。

10.根据权利要求3所述的旋转式沉积设备，其中，所述旋转式沉积设备包括多个隔间，每个隔间均包含沉积源和玻璃面板保持架，并且各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。

11.根据权利要求3所述的旋转式沉积设备，其中，所述旋转式沉积设备包括以直线型布置方式顺序地一个接一个地连接的多个隔间。

12.根据权利要求11所述的旋转式沉积设备，其中，每个所述隔间包含沉积源和玻璃面板保持架，并且各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。

13.根据权利要求3的旋转式沉积设备，其中，所述沉积源布置在所述隔间的底表面上，并且所述玻璃面板保持架布置在所述隔间的顶表面下方，

其中，所述玻璃面板布置在所述沉积源与所述玻璃面板保持架之间。