[发明专利]旋转式沉积设备

说明书

技术领域

本发明总体涉及旋转式沉积设备，更具体地，涉及一种被构造成使得玻璃面板和/或沉积源的喷嘴单元旋转的旋转式沉积设备，从而改进形成在玻璃面板上的薄膜的均匀度。

背景技术

通常，有机发光二极管（OLED）是作为下一代显示装置而引起广泛关注的自发光装置。OLED具有很多优点，诸如，比相片（photograph）质量更高的图像质量、宽视角、几乎没有死视角（dead viewing angle）、减小为LCD的1/3的厚度、低功耗以及大约是LCD的1/1000的快速响应时间。因此，利用OLED来产生高质量的视频等。

在具有上述特征的OLED中，空穴从阳极传输至空穴传输层，而电子从阴极传输至电子传输层。空穴和电子在设置于空穴传输层与电子传输层之间的发光层中彼此重新结合，从而产生电子空穴对（激子）。得自于电子空穴对的能量产生特定波长的光。

典型地，有机薄膜层（诸如空穴传输层、发光层、电子传输层等）的形成包括：在高真空隔间（booth）中使坩埚（crucible）中所包含的有机材料蒸发，以及将蒸发的有机材料沉积到玻璃面板上。如图1所示，在传统技术中，将不同种类的有机材料供应到设置在单个隔间10中的沉积源12a、12b和12c中。当玻璃面板11移动经过隔间10时，加热器或类似装置加热有机材料，使得有机材料沉积到玻璃面板11上。但是，在这种沉积方法中，由于蒸发的有机材料的自由移动，不同种类的蒸发的有机材料在单个隔间11中随机地沉积到玻璃面板11上，因此造成有机材料的交叉污染。为了解决这个问题，已经尝试了几种方法，例如，增大沉积源之间的间距，或者在将另一种有机材料沉积到玻璃面板上之前除去残留在隔间中的前一种有机材料。但是，不可能从隔间中完全移除残留的前一种有机材料。而且，需要额外时间来重新调整沉积源之间的间距来适合不同种类的有机材料和从隔间去除前一种有机材料。尤其是，在近来使用大尺寸玻璃面板的情况下，形成在玻璃面板的沉积表面上的薄膜的均匀性进一步降低。典型地，所沉积的有机材料膜的厚度必须在至的范围内，并且厚度的均匀性必须为5%或更小。

为了解决传统技术中的上述问题，在题为“Deposition Apparatus（沉积设备）”的韩国专利公开出版物第10-2004-0002362号（2004年1月7日）（专利文献1）中提出了一种沉积设备。具体地，在专利文献1的沉积设备中，用作用于保持掩模和玻璃面板3的单元的保持架4设置在隔间的顶表面下方，并且旋转装置5使玻璃面板3旋转，从而沉积在玻璃面板3上的薄膜的均匀度能够得以提高（参照专利文献1的图4及其第5页所描述的实施方式）。

但是，专利文献1的沉积设备被构造成使得仅有玻璃面板旋转。因此，能够改进薄膜均匀性的程度受到限制，并且针对有机材料的交叉污染问题没有提出解决方案。

在题为“Rotary deposition source for thin film deposition and thin film deposition apparatus using the same（用于薄膜沉积的旋转式沉积源和使用该沉积源的薄膜沉积设备）”的韩国专利公开出版物第10-2008-0007820号（2008年1月23日）（专利文献2）中提出了与沉积技术相关的另一种设备。具体地，在专利文献2中，轴500安装在沉积源10的下表面下方，并且沉积源10能够围绕轴500旋转，从而提高了沉积在玻璃面板20上的薄膜的均匀度（参照专利文献2的图2及其第4页的第四和第五段）。

但是，在专利文献2的沉积设备中，因为整个沉积源10旋转，所以操作效率降低。而且，离心力会降低玻璃面板的中心部分与其周缘之间的薄膜的均匀度。此外，专利文献2的技术仍旧没有提出针对有机材料的交叉污染问题的解决方案。

[现有技术文献]

[专利文献]

1.韩国专利公开出版物第10-2004-0002362号（2004年1月7日）

2.韩国专利公开出版物第10-2008-0007820号（2008年1月23日）

发明内容

因此，考虑到现有技术中出现的上述问题，提出了本发明，并且本发明的目的在于提供一种旋转式沉积设备，其被构造成使得玻璃面板和/或沉积源的喷嘴单元旋转，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的均匀度。

本发明的另一目的是提供一种旋转式沉积设备，在该旋转式沉积设备中，多个隔间以直线型布置方式构造，使得多个隔间顺序地一个接一个地连接，并且形成薄膜的不同种类的有机材料能够分别设置在各自的隔间中，因此防止了有机材料的交叉污染。