[发明专利]机器人的臂结构和机器人

说明书

技术领域

本发明公开的实施方式涉及机器人的臂结构和机器人。

背景技术

以往，作为搬送玻璃基板和半导体晶片等工件的机器人，已知水平多关节机器人。水平多关节机器人是具备伸缩臂的机器人，所述伸缩臂是将两个臂部经关节连接起来而成的，通过使各臂部进行旋转动作来使在伸缩臂的末端部设置的末端执行器直线移动。并且，水平多关节机器人构成为，用于支承伸缩臂的底座部能够以回转轴为中心旋转，所述回转轴为铅直轴。

在这样的水平多关节机器人中，为了使在伸缩臂的末端部安装的末端执行器的朝向不随臂部件的旋转动作而变化，设有连杆机构来限制末端执行器的旋转，所述连杆机构根据各臂部的旋转动作而进行动作。

例如，在专利文献1中公开了使用两个平行连杆机构来限制末端执行器的旋转的臂结构，所述两个平行连杆机构为根据基端侧的臂部的旋转动作的第一平行连杆机构、和跟随末端侧的臂部的旋转动作的第二平行连杆机构。

专利文献1：日本专利第4295788号公报

然而，在上述的现有技术中，在减小机器人的最小回转径这一点上存在进一步改善的余地。机器人的最小回转径指的是底座部以回转轴为中心旋转的情况下水平多关节机器人的最小的旋转半径。

例如，在上述的现有技术中，第一平行连杆机构的连杆宽度与第二平行连杆机构的连杆宽度是相同的。连杆宽度指的是与臂部件平行地设置的连杆之间的宽度。因此，如果机器人大型化的话，第二平行连杆机构的连杆宽度也变大，与此相伴地，最小回转径变大。

发明内容

本发明实施方式的一个形态的目的在于提供一种能够减小机器人的最小回转径的机器人的臂结构和机器人。

实施方式的一个形态涉及的机器人的臂结构具备第一臂部、第二臂部、中间连杆部、第一连杆部和第二连杆部。第一臂部的基端部与固定底座部以能够旋转的方式连接。第二臂部的基端部与第一臂部的末端部以能够旋转的方式连接，第二臂部在末端部与可动底座部以能够旋转的方式连接。中间连杆部被与第一臂部与第二臂部的连接轴同轴地轴支承。第一连杆部与第一臂部、中间连杆部和固定底座部一起形成第一平行连杆机构。第二连杆部与第二臂部、中间连杆部和可动底座部一起形成第二平行连杆机构。并且，从第二连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离，比从第一连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离短。

根据实施方式的一个形态，能够提供一种机器人的臂结构和机器人，其能够减小机器人的最小回转径。

附图说明

图1是本实施方式涉及的机器人的立体示意图。

图2A是示出采用与以往相同的平行连杆机构的情况下机器人的最小回转径的俯视示意图。

图2B是示出本实施方式涉及的机器人的最小回转径的俯视示意图。

图3是示出机器人设置在真空罩的状态的侧视示意图。

图4是厚壁部周边的侧视示意图。

图5是厚壁部周边的俯视示意图。

标号说明

1：机器人；

10：机体部；

11：壳体；

12：凸缘部；

15：升降凸缘部；

20：臂单元；

21：固定底座部；

22：第一臂部；

23：第二臂部；

23a：厚壁部；

231：厚壁部的上表面；

24：可动底座部；

24a：末端执行器；

241：工件保持面；

242：末端执行器的下表面；

25：辅助臂部；

25a：第一连杆部；

25b：中间连杆部；

25c：第二连杆部；

30：真空罩。

具体实施方式

下面，参照附图详细地说明本申请公开的机器人的臂结构和机器人的实施方式。另外，并不通过下面所示实施方式限定本发明。

首先，用图1说明本实施方式涉及的机器人的结构。图1是本实施方式涉及的机器人的立体示意图。

如图1所示，机器人1是具备沿水平方向伸缩的两个伸缩臂的水平多关节机器人。具体来说，机器人1具备机体部10和臂单元20。

机体部10是设于臂单元20的下部的单元。机体部10在筒状的壳体11内具备升降装置，并且使用所述升降装置使臂单元20沿铅直方向升降。