[发明专利]一种彩膜显影机

权利要求书

1.一种彩膜显影机，用于在液晶面板制造中对基板面内光阻进行均匀显影，包括：显影槽，其特征在于，所述显影槽包括分别相对于水平面设置倾斜的第一显影槽（11）和第二显影槽（12）；

所述第一显影槽（11）和所述第二显影槽（12）相对于所述水平面倾斜的倾斜方向相反。

2.如权利要求1所述的彩膜显影机，其特征在于，所述第一显影槽（11）相对于所述水平面的倾斜角（α）的角度范围在0°-90°之间；

所述第二显影槽（12）相对于所述水平面的倾斜角（β）的角度范围在90°-180°之间。

3.如权利要求2所述的彩膜显影机，其特征在于，所述第一显影槽（11）相对于所述水平面的倾斜角（α）的角度范围在5°-10°之间；

所述第二显影槽（12）相对于所述水平面的倾斜角（β）的角度范围在170°-175°之间。

4.如权利要求1- 3任一项所述的彩膜显影机，其特征在于，所述第一显影槽（11）相对于所述水平面的倾斜角（α）与所述第二显影槽（12）相对于所述水平面的倾斜角（β）互补。

5.如权利要求1所述的彩膜显影机，其特征在于，所述彩膜显影机还包括用于在所述第一显影槽（11）和所述第二显影槽（12）间进行传送的传送机构；

所述传送机构可相对于水平面设置旋转倾斜。

6.如权利要求5所述的彩膜显影机，其特征在于，所述第一显影槽（11）和所述第二显影槽（12）上分别安装有所述传送机构。

7.如权利要求5或6所述的彩膜显影机，其特征在于，所述第一显影槽（11）和/或所述第二显影槽（12）连接设置用于去除所述基板表面残留显影液的清洗装置。

8.如权利要求7所述的彩膜显影机，其特征在于，所述基板通过所述第一显影槽（11）经所述清洗装置后，由所述传动装置传送至所述第二显影槽（12）。

9.如权利要求8所述的彩膜显影机，其特征在于，所述第一显影槽（11）相对于所述水平面的倾斜角（α）与所述第二显影槽（12）相对于所述水平面的倾斜角（β）互补。