[发明专利]探针测试装置与其制造方法

权利要求书

1.一种探针测试装置的制造方法，其特征在于，该制造方法包括以下步骤：

提供一增强板；

将多个空间转换板定位于该增强板上，该空间转换板的其中一表面具有多个第一焊垫；

将该空间转换板固定于该增强板上，并使该空间转换板的内部电路电性连接于该增强板的内部电路；

于该空间转换板上形成一光阻图案，该光阻图案具有多个开口，该第一焊垫是位于该开口内；

于每一开口内形成一金属层，该金属层覆盖所述的第一焊垫，以形成多个第二焊垫；

去除该光阻图案；

提供一电路板，并将该增强板的内部电路与该电路板的内部电路电性连接；及

提供一探针头，该探针头具有多个探针区，每一探针区皆对应到其中一空间转换板，且该探针区包括多根探针，其特征在于该探针是借由该第二焊垫而与该空间转换板的内部电路电性连接。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于该金属层是以电镀的方式形成于该开口内。

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于于该增强板上设置有多个定位点，该空间转换板是借由与该定位点相抵靠而定位在该增强板上。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于将该空间转换板定位于该增强板的步骤包括：

提供一定位框架，该定位框架上具有多个定位槽；

将该空间转换板置放在该定位槽内；及

将该增强板靠近该定位框架，并使该空间转换板焊接在该增强板上。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，该制造方法还包括下述的步骤：于该第二焊垫的表面形成一抗氧化层。

6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，该制造方法还包括下述的步骤：将所述的第二焊垫平坦化。

7.一种探针测试装置，其特征在于，该探针测试装置包括：

一电路板；

一增强板，该增强板设置在该电路板上，且该增强板的内部电路是与该电路板的内部电路电性连接；

多个空间转换板，所述的空间转换板是设置在该增强板上，且于每一空间转换板上皆设有多个第一焊垫与多个第二焊垫，该第二焊垫是覆盖该第一焊垫，且该些第二焊垫的上方表面处形成一平面；及

一探针头，其特征在于该探针头具有多个探针区，所述的探针区包括多个探针，该探针借由该第二焊垫而与该空间转换板的内部电路电性连接；

其中，于至少一空间转换板上，至少一第二焊垫及覆盖在其下的第一焊垫两者的中心线并非相重合。

8.如权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，每一空间转换板上的第二焊垫与其他相邻的空间转换板上相应位置的第二焊垫，其中心点的位置是位于同一条水平延长线或同一条垂直延长线。

9.如权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，当所述的空间转换板设置于该增强板上后，于该空间转换板及该增强板之間填充有一底胶。

10.如权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，该第二焊垫的材质与该第一焊垫的材质相同。

11.如权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，该增强板的材质为陶瓷，而该空间转换板的材质为有机材质。

12.如权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，于第二焊垫的表面上形成有一抗氧化层。