[发明专利]偏振元件单元、其透射率设定方法及光照射装置

权利要求书

1.一种偏振元件单元，使来自光源的光偏振，其特征在于，

将多个线栅偏振元件，以各端部在来自光源的光所通过的方向上重叠的方式沿着一个方向排列配置在框体内；

在上述框体上，与排列配置的各个偏振元件相对应而设置有对通过各偏振元件的光进行遮光的遮光机构；

上述遮光机构沿着上述一个方向排列配置，各遮光机构在相对于上述一个方向交叉的方向上，从上述框体向上述偏振元件上的突出量可变。

2.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述遮光机构相对于一个偏振元件设有多个。

3.一种光照射装置，其特征在于，具备：

光射出部，将多个光源元件沿着一个方向排列；

反射镜，反射从该光射出部射出的光，并聚光成沿着上述一个方向延伸的线状；以及

偏振元件单元，设置在上述反射镜的光射出侧，具备使由该反射镜反射的光偏振的偏振元件；

该光照射装置对在相对于上述一个方向正交的方向上搬送的工件，照射由上述偏振元件单元偏振的偏振光；

在该光照射装置中，使用权利要求1或权利要求2的偏振元件单元作为上述偏振元件单元。

4.一种偏振元件单元的透射率的设定方法，该偏振元件单元为，将多个偏振元件，以各端部在来自光源的光所通过的方向上重叠的方式沿着一个方向排列配置在框体内，在该框体上，与排列配置的各个偏振元件相对应而设置有对通过各偏振元件的光进行遮光的遮光机构，该偏振元件单元的透射率的设定方法的特征在于，包含：

第1工序，测定上述多个偏振元件的各自的透射率；以及

第2工序，以成为与上述第1工序中测定出的多个偏振元件中、表示最低透射率的偏振元件的透射率相同的方式，通过由对应的遮光机构进行遮光来使其他偏振元件的透射率降低。