[发明专利]偏振元件单元、其透射率设定方法及光照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及排列多个偏振元件的偏振元件单元，及用以使用该偏振元件单元，来制造液晶显示元件的取向膜、使用了紫外线硬化型液晶的视野角补偿薄膜的取向层的光取向或者3D图像显示装置所使用的相位差薄膜的光照射装置，以及以该偏振元件单元的透射率作为整体而一定的方式进行设定的透射率的设定方法。

背景技术

关于液晶面板等液晶显示元件的取向膜及显现3D图像的3D图像显示装置所使用的相位差薄膜(以下称为3D用薄膜)的取向层的取向处理，逐渐采用对取向膜照射紫外线区域的偏振光来进行取向的被称为光取向的技术。以下，将设置通过光来进行取向的取向膜或取向层的薄膜总称为光取向膜。光取向膜随着液晶面板的大型化也大面积化，同时，对光取向膜照射紫外线区域的偏振光的偏振光照射装置也大型化。

在上述光取向膜中，例如3D用薄膜是宽度为1000mm-1500m的带状且长条的工件，取向处理后切断成所希望的长度来使用。为了对于此种带状的长的光取向膜进行光取向，提出有组合棒状的紫外绿灯与线栅偏振元件的偏振光照射装置(例如参照专利文献1)。

如专利文献l所记载那样，线栅偏振元件无法制作成大型的部件，为此，在这种偏振光照射装置中，使用将多个线栅偏振元件在保持框体(框架)内排列配置于一个方向的偏振元件单元。

专利文献1：日本专利第4506412号公报

专利文献2：日本特表2010-501085号公报

使紫外线偏振的线栅偏振元件的制作，使用半导体制造所用的光刻装置、蚀刻装置或蒸镀装置等来进行。关于详细的制作方法，例如记载于专利文献2中。如此制作的线栅偏振元件的透射率为约30%，透射率会产生数百分比（%）的个体差别。

如上述那样，偏振元件单元为，排列多个线栅偏振元件而构成。但是，各偏振元件的透射率有数百分比的差的话，即使假设均匀照度的光射入到此偏振元件单元的整体，借助通过了偏振元件的光所作出来的光照射区域的照度分布也不均匀。

发明内容

本发明是解决上述问题的发明，其目的为，在排列多个线栅偏振元件而构成的偏振元件单元中，即使各线栅偏振元件的透射率存在个体差，也使光照射区域的照度分布均匀。

为了解决上述课题，在本发明中，在偏振元件单元上，设置对从各线栅偏振元件射出的光进行遮光(减光)的遮光机构。通过该遮光机构来调整光照射区域的照度分布。

遮光机构具备安装于保持偏振元件的框体(框架)上的遮光板，在从偏振元件射出的光束中插入该遮光板来进行减光。遮光板为，插入到光束中的长度可变，从而安装于保持偏振元件的框体(框架)上。

而且，上述遮光机构需要针对1个线栅偏振元件而至少设置1个，但是，为了进行光照射区域的照度分布的微妙调整，针对1个偏振元件优选设置多个。

作为将偏振元件单元整体的透射率设为一定、用于使光照射区域的照度分布均匀的、遮光机构的遮光板的遮光量的调整顺序，预先测定排列配置于偏振元件单元上的所有线栅偏振元件的透射率，以其值匹配于最低的偏振元件的透射率的方式，对通过各偏振元件的光，借助与其分别对应设置的遮光机构的遮光板来遮光而进行减光。

即，在本发明中，如以下所述来解决上述课题。

(1)如下所述来构成使来自光源的光偏振的偏振元件单元。

构成为，将多个线栅偏振元件，以各端部在来自光源的光所通过的方向上重叠的方式沿着一个方向排列配置在框体内；在上述框体上，与排列配置的各个偏振元件相对应而设置有对通过各偏振元件的光进行遮光的遮光机构。该遮光机构沿着上述一个方向排列配置，各遮光机构在相对于上述一个方向交叉的方向上，从上述框体向上述偏振元件上的突出量可变。

(2)在上述(1)中，上述遮光机构相对于一个偏振元件设有多个。

(3)在光照射装置中，具备：光射出部，将多个光源元件沿着一个方向排列；反射镜，反射从该光射出部射出的光，并聚光成沿着上述一个方向延伸的线状；以及偏振元件单元，设置在上述反射镜的光射出侧，具备使由该反射镜反射的光偏振的偏振元件；该光照射装置对在相对于上述一个方向正交的方向上搬送的工件，照射由上述偏振元件单元偏振的偏振光；在该光照射装置中，使用上述(1)、(2)的偏振元件单元。

(4)在将多个偏振元件，以各端部在来自光源的光所通过的方向上重叠的方式沿着一个方向排列配置在框体内，在该框体上，与排列配置的各个偏振元件相对应而设置有对通过各偏振元件的光进行遮光的遮光机构的偏振元件单元中，将各偏振元件的透射率如以下所述那样设定。

第1工序：测定上述多个偏振元件的各自的透射率。