[发明专利]一种负性光刻胶树脂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，包括：

光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂；

所述光引发剂、所述碱溶性树脂、所述可聚合单体以及所述颜料液的质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70。

2.根据权利要求1所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂包括：

有机酯类单体、有机酸类单体、有机酰氯类单体在添加剂存在的条件下反应形成的三元共聚物；

所述有机酯类单体、所述有机酸类单体以及所述有机酰氯类单体的摩尔比在6∶1∶3-6∶3∶1之间。

3.根据权利要求2所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述有机酯类单体包括甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸异丁酯或丙烯酸异戊基酯中的至少一种。

4.根据权利要求2所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述有机酸类单体包括甲基丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、异肉桂酸、α-甲基肉桂酸、丙烯酸甲酯或丁烯酸甲酯中的至少一种。

5.根据权利要求2所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述有机酰氯类单体包括甲基丙烯酰氯、乙基丙烯酰氯、丙烯酰氯或异丁基丙烯酰氯中的至少一种。

6.根据权利要求2所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述添加剂包括：

光引发剂，其质量占所述负性光刻胶树脂组合物总质量的0.5％-2％；

阻聚剂，包括对苯二酚、2-仲丁基-4，6-二硝基苯酚、对叔丁基邻苯二酚、2，5-二特丁基对苯二酚中的至少一种，其质量占所述负性光刻胶树脂组合物总质量的0.1％-1.0％。

7.根据权利要求1或6所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述光引发剂包括引发剂369、引发剂379、硝基苯胺、蒽醌、二苯甲酮、N-乙酰-4-硝基萘胺中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述可聚合单体包括二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、脂肪族六官能聚氨酯丙烯酸酯聚合物、乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯中的至少一种。

9.根据权利要求1任一所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述负性光刻胶树脂组合物还包括：

助剂，其质量占所述负性光刻胶树脂组合物总质量的0.2％-5％。

10.根据权利要求9所述的负性光刻胶树脂组合物，其特征在于，所述助剂包括颜料、分散剂、流平剂、消泡剂中的至少一种；

所述流平剂的质量占负性光刻胶树脂组合物总质量的0.2％-5％；

所述消泡剂的质量占负性光刻胶树脂组合物总质量的0.1％-3％。

11.一种负性光刻胶树脂组合物制备方法，其特征在于，包括：

将质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70的光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂进行混合，得到负性光刻胶树脂组合物。

12.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，制备所述碱溶性树脂的方法包括：

将摩尔比在6∶1∶3-6∶3∶1之间的有机酯类单体、有机酸类单体、有机酰氯类单体与光引发剂在50℃-80℃环境下反应4-7h；

滴入阻聚剂，降温至40-60℃；

滴加占总体质量0.2％-1.0％的烯丙醇，形成三元共聚物；

将所述三元共聚物在甲醇水溶液中析出白色粉末，经抽滤、真空干燥得到碱溶性树脂。

13.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，所述有机酯类单体包括甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸异丁酯或丙烯酸异戊基酯中的至少一种。

14.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，所述有机酸类单体包括甲基丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、异肉桂酸、α-甲基肉桂酸、丙烯酸甲酯或丁烯酸甲酯中的至少一种。

15.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，所述有机酰氯类单体包括甲基丙烯酰氯、乙基丙烯酰氯、丙烯酰氯或异丁基丙烯酰氯中的至少一种。