[发明专利]一种负性光刻胶树脂组合物及其制备方法有效
申请号: | 201210303132.2 | 申请日: | 2012-08-23 |
公开(公告)号: | CN102830589A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 孙雯雯 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/038 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 树脂 组合 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及光刻胶树脂技术领域,尤其涉及一种负性光刻胶树脂组合物及其制备方法。
背景技术
彩色滤光片作为液晶显示器的重要组成部件,其质量的好坏将直接影响液晶显示器的质量。彩色滤光片主要包括红、绿、蓝三色的彩色滤光结构,在实际生产过程中,三种颜色的彩色滤光结构通常可以采用不同颜色的光刻胶经过多次曝光显影分别形成。如何提高光刻胶的质量也成为了进一步提高彩色滤光片质量的关键。
目前常采用负性光刻胶曝光显影形成彩色滤光片。负性光刻胶经曝光将发生化学交联反应,如图1a所示,在玻璃基板1上涂覆有负性光刻胶2,负性光刻胶2之上为掩膜版3,曝光光线由上向下(图1a中箭头方向)照射掩膜版3进行曝光显影。曝光部分的负性光刻胶将产生固化,当经过显影液显影之后,未曝光部分的负性光刻胶将被洗掉,已固化的曝光部分的负性光刻胶将保留下来,得到如图1b所示的像素21。这样一种负性光刻胶往往感光性能不佳,在曝光显影的过程中通常需要采用较大的曝光强度,且持续曝光至少1分钟以上才能够得到图案,在显微镜的观察下,曝光图案的像素边缘处还存在光刻胶残留等问题,现有技术尚难以解决以上问题。
发明内容
本发明的实施例提供一种负性光刻胶树脂组合物及其制备方法,可以提高光刻胶的感光性能,改善边缘的光刻胶残留,提高液晶显示器的质量。
为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
本发明实施例的一方面,提供一种负性光刻胶树脂组合物,包括:
光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂。
所述光引发剂、所述碱溶性树脂、所述可聚合单体以及所述溶剂的质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70。
本发明实施例的另一方面,提供一种负性光刻胶树脂组合物制备方法,包括:
将质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70的光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂进行混合,得到负性光刻胶树脂组合物。
本发明实施例提供的负性光刻胶树脂组合物及其制备方法,包括光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂,其中,这四种组分的质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70。这样一种负性光刻胶树脂组合物具有较高的感光速度以及优良的可操作度,与现有的负性光刻胶相比,可以有效提高光刻胶的感光性能,大大改善像素边缘的光刻胶残留,显著地提高了液晶显示器的质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1a为现有技术中负性光刻胶进行曝光的基板结构示意图;
图1b为现有技术中负性光刻胶曝光显影后的基板结构示意图;
图2为本发明的实施例提供的一种负性光刻胶树脂组合物制备方法的流程示意图;
图3为本发明的实施例提供的一种制备碱溶性树脂的方法流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供的负性光刻胶树脂组合物,包括:
光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂。
该光引发剂、该碱溶性树脂、该可聚合单体以及该溶剂的质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70。
本发明实施例提供的负性光刻胶树脂组合物,包括光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂,其中,这四种组分的质量比为1-5.5∶5-14.5∶4-10∶30-70。这样一种负性光刻胶树脂组合物具有高感光速度以及优良的可操作度,与现有的负性光刻胶相比,可以有效提高光刻胶的感光性能,大大改善像素边缘的光刻胶残留,显著地提高了液晶显示器的质量。
优选的,光引发剂、碱溶性树脂、可聚合单体以及溶剂的质量比可以为1∶5∶7∶35,采用这样一种配比的负性光刻胶树脂组合物具有更加良好的感光速度以及可操作度。
具体的,碱溶性树脂可以包括有机酯类单体、有机酸类单体、有机酰氯类单体在添加剂存在的条件下反应形成的三元共聚物。
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