[发明专利]聚四氟乙烯分离膜表面改性的方法

权利要求书

1.聚四氟乙烯分离膜表面改性的方法，其具体步骤如下：

a将聚四氟乙烯分离膜置于等离子体反应腔中，抽真空，调节功率10w~300w，处理时间1~10min，正反面各处理一次；

b将经步骤a处理后的聚四氟乙烯分离膜置于原子层沉积仪器反应室，抽真空并加热使反应室温度达到50~200℃，使膜在设定温度下保持1~5min；

c首先关闭出气阀，脉冲第一种前驱体0.01～1s，保持一段时间0~60s；然后打开出气阀，脉冲清扫气，清扫5~60s；再关闭出气阀，脉冲第二种前驱体0.01~1s，保持一段时间0~60s；最后再打开出气阀，脉冲清扫气，清扫5~60s；

d根据具体需要，重复步骤c，制得改性的聚四氟乙烯分离膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于步骤c中所述的第一种前驱体为三甲基铝、四氯化钛或异丙醇钛。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于步骤c中所述的第二种前驱体为水或臭氧。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于步骤c中所述的清扫气为氮气或氩气。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于步骤d中所述的重复步骤c的次数为10~500次。