[发明专利]用于蚀刻液循环再生设备的冷却管无效
| 申请号： | 201210304490.5 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN103628067A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;张小波;张晓蓓 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 循环 再生 设备 冷却管 | ||
【权利要求书】：
1.用于蚀刻液循环再生设备的冷却管，其特征在于：包括管体（4），管体（4）从进水管（3）端部弯折形成盘旋向下的回转型结构Ⅰ（5），回转型结构（5）底部管体（4）向回转型结构Ⅱ（5）内部伸出并形成盘旋向上的回转型结构Ⅱ（6），回转型结构Ⅱ（6）上部伸出形成出水管（7），所述进水管（3）和出水管（7）端部均设有密封挡板（2）。
2.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生设备的冷却管，其特征在于：所述管体（4）还连接有接头螺纹管（1），所述接头螺纹管（1）位于密封挡板（2）外端。
3.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生设备的冷却管，其特征在于：所述密封挡板（2）采用焊接方式固定在进水管（3）和出水管（7）端部。
4.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生设备的冷却管，其特征在于：所述管体（4）为钛质圆管。
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