[发明专利]碱性蚀刻液循环再生系统无效
| 申请号： | 201210304509.6 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN103628069A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张小波;吴圣杰 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碱性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
1. 碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：包括依次连接的蚀刻生产线用水设备（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、碱性蚀刻液循环再生设备（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）、子液罐（8），子液罐（8）再与蚀刻生产线用水设备（1）连接形成循环，所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。
2. 根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述碱性蚀刻液循环再生设备（4）包括电解槽（9）和与电解槽（9）相连的温控槽（11），电解槽（9）上端设有将电解槽（9）和温控槽（11）连通的两根平行的溢流管（10），电解槽（9）下端设有循环管（16）和出水管（14），循环管（16）一端与电解槽（9）连通，另一端与温控槽（11）下端连通，循环管（16）上还设有循环泵（17），出水管（14）上设有控制阀门Ⅰ（18），所述温控槽（11）底端还设有母液管（12），母液管上同样设有控制阀门Ⅱ（15）。
3. 根据权利要求2所述的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述温控槽（11）的下端还设有排污管，排污管上设有开关阀门（13），所述排污管与出水管连通。
4. 根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述碱性蚀刻液循环再生系统全部采用封闭式循环结构。
5. 根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述碱性蚀刻液循环再生系统连接有PLC自动控制系统。
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