[发明专利]真空垫无效

专利信息
申请号: 201210306675.X 申请日: 2012-08-24
公开(公告)号: CN102951442A 公开(公告)日: 2013-03-06
发明(设计)人: 金东藓;金显埈;郑镇一;李延喆;田丞镐;朴城辰;曹汉瑞 申请(专利权)人: 三星电机株式会社
主分类号: B65G47/91 分类号: B65G47/91
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 董彬;桑传标
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 真空
【权利要求书】:

1.一种真空垫,其特征在于,该真空垫包括:吸附垫部,该吸附垫部吸附基板;以及支撑条,该支撑条以从所述吸附垫部的基板吸附面向内侧将所述吸附垫部划分为多个区域的方式形成。

2.根据权利要求1所述的真空垫,其特征在于,该真空垫还包括连接于所述吸附垫部的上部面的柱状把持部。

3.根据权利要求2所述的真空垫,其特征在于,所述吸附垫部还包括从所述基板吸附面向内侧形成的真空孔,所述真空孔的孔从所述吸附垫部向所述把持部延伸。

4.根据权利要求1所述的真空垫,其特征在于,在所述支撑条包括多个条的情况下,所述支撑条在所述吸附垫部的基板吸附面上以十字架形状形成所述多个条。

5.根据权利要求1所述的真空垫,其特征在于,所述基板包括空白区域,所述吸附垫部吸附所述基板的空白区域。

6.根据权利要求1所述的真空垫,其特征在于,所述吸附垫部的基板吸附面为圆形或多边形。

7.根据权利要求1所述的真空垫,其特征在于,所述基板为薄板。

8.根据权利要求1所述的真空垫,其特征在于,所述吸附垫部和所述支撑条能够分离。

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