[发明专利]一种显影液监控方法及设备

权利要求书

1.一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；其特征在于，还包括：

光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和

与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

2.根据权利要求1所述的显影液监控设备，其特征在于，所述光检测单元包括：

设置在所述基板支撑架一侧的光发射模块，所述光发射模块在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射第二颜色的检测光线；和

设置在所述基板支撑架的另一侧，与所述光发射模块相向设置的光接收模块，用于接收所述光发射模块发出的所述光线。

3.根据权利要求2所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于：

获取所述光发射模块发射所述光线的第一时刻和所述光接收模块接收到所述光线的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

4.根据权利要求2或3所述的显影液监控设备，其特征在于，所述显影液监控设备还包括：

设置在所述基板支撑架一侧的颜色传感单元，所述颜色传感单元用于在所述第二时刻后向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线；根据所述色度检测光线确定所述显影区域的色度值；

相应的，所述处理单元与所述颜色传感单元电连接，还用于若确定所述色度值不在预设色度范围内，则确定所述显影液失效。

5.根据权利要求1所述的显影液监控设备，其特征在于，所述光检测单元包括：

设置在所述基板支撑架一侧的颜色传感模块，所述颜色传感模块在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线；接收所述显影区域的反射光线；根据所述反射光线确定所述显影区域的色度值。

6.根据权利要求5所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于：

获取所述颜色传感模块发射所述光线的第一时刻和所述显影区域的色度值变化至预设色度范围的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

7.根据权利要求1所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于：

若确定所述时间间隔大于第一预设时间，则确定所述显影液的浓度值低于预设浓度值；

若确定所述时间间隔小于第二预设时间，则确定所述显影液的浓度值高于所述预设浓度值；

其中，所述第一预设时间大于所述第二预设时间。

8.根据权利要求1所述的显影液监控设备，其特征在于，所述显影液监控设备还包括：

与所述处理单元电连接的提示单元，用于在所述处理单元确定所述显影液失效后，向用户提示所述显影液失效。

9.一种显影液监控方法，应用于待显影基板在显影液中进行显影的过程，其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶，其特征在于，包括：

在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；

根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线包括：

在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射第二颜色的检测光线；

接收所述第二颜色的检测光线；

相应的，根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效包括：

获取发射所述光线的第一时刻和接收到所述光线的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。