[发明专利]一种显影液监控方法及设备

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种显影液监控方法及设备。

背景技术

在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管液晶显示器)的生产过程中，通常需要通过构图工艺形成阵列基板上的电路图案。显影作为构图工艺中一道重要的工序，曝光图样只有通过显影液的作用才会显现出来。显影液通过一定的化学反应，可以将透明基板上经掩膜板曝光后所形成图案中不需要的部分的光刻胶显影刻蚀掉。为了确保显影的效果，显影液的质量显得尤为重要，在现有的大多数显影系统中，显影液是循环使用的，随着显影液使用次数的增加，显影液会逐渐被污染，显影效果明显降低。为了保证显影液的质量，有些厂商将使用一次或使用少数几次后的显影液直接排掉，这样虽然是提高了产品的良率，但是减少了显影液的循环使用次数，增加了显影液的使用量，大大增加了产品的成本。为了在保证产品良率的同时提高显影液的利用率，可以在显影液循环使用的过程中对显影液的显影效果进行实时监控，动态调节显影液的浓度以达到较优的显影效果。在现有技术中，对显影液质量的监控主要可以通过测量显影液的浓度和光阻浓度来实现。但由于不同显影液的组分配比也各不相同，现有的显影液监控系统由于是针对显影液中的多种组分进行监控，难以直观准确地反映出显影液的显影效果。显影液监控系统不能直观有效地对显影液的显影效果进行评估就难免会造成显影液的浪费，或造成显影液显影效果的不良。

发明内容

本发明的实施例提供一种显影液监控方法及设备，可以有效准确地监控显影液的显影效果。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；还包括：

光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和

与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

本发明实施例的另一方面，提供一种显影液监控方法，应用于待显影基板在显影液中进行显影的过程，其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶，包括：

在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；

根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

本发明实施例提供的显影液监控方法及设备，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，光检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种显影液监控设备的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一显影液监控设备的局部结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一显影液监控设备的局部结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一显影液监控设备的局部结构示意图；

图5为图4所示的显影液监控设备的底部方向的局部仰视图；

图6为本发明实施例提供的一种显影液监控方法的流程示意图；

图7为本发明实施例提供的另一显影液监控方法的流程示意图；

图8为本发明实施例提供的又一显影液监控方法的流程示意图。

具体实施方式