[发明专利]压合装置及固晶机有效

专利信息
申请号: 201210310809.5 申请日: 2012-08-28
公开(公告)号: CN103632996A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 季伟 申请(专利权)人: 南通富士通微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/50
代理公司: 北京市惠诚律师事务所 11353 代理人: 雷志刚;潘士霖
地址: 226006 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 装置 固晶机
【权利要求书】:

1.一种压合装置,其特征在于,包括施压部件和驱动所述施压部件上下运动的驱动装置,所述施压部件具有朝下设置的施压平面,所述施压平面的长度方向与待施压框架的运动方向一致。

2.根据权利要求1所述的压合装置,其特征在于,所述驱动装置为直线驱动器。

3.根据权利要求2所述的压合装置,其特征在于,所述直线驱动器的活塞杆竖直向上设置。

4.根据权利要求2所述的压合装置,其特征在于,所述直线驱动器为气压缸、液压缸或电动推杆。

5.根据权利要求1-4任一所述的压合装置,其特征在于,所述施压部件为曲臂,所述曲臂包括施压臂、过渡臂和连接臂,所述连接臂位于所述施压臂的上方,所述连接臂与所述施压臂通过所述过渡臂连接,所述连接臂与所述驱动装置固定连接,所述施压平面位于所述施压臂的下表面。

6.一种固晶机,包括固晶机本体,所述固晶机本体上具有用于传送待施压框架的轨道平面,其特征在于,所述固晶机本体上固定连接有如权利要求1-5任一所述的压合装置,所述压合装置的施压平面位于轨道平面的上方。

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