[发明专利]玻璃基板的刻划方法及加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板的刻划方法，特别涉及对在表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃沿刻划预定线进行刻划的玻璃基板刻划方法。还涉及刻划玻璃的加工装置。

背景技术

作为形成用于分割玻璃基板的刻划槽的方法，有使用激光来形成刻划槽的方法。在该情况下，通过沿着刻划预定线照射激光而使基板的一部分溶解、蒸发，从而形成刻划槽。不过，在该方法中，有时被溶解、蒸发的基板的一部分附着在基板表面上，并伴随有质量的恶化。另外，在被溶解、蒸发的部分所形成的斑痕成为降低基板端面强度的原因。

因此，作为其他的刻划槽形成方法，存在如在专利文献1或2中公开的方法。此处，在作为玻璃基板的刻划槽起点的地方，形成有初始龟裂，对该初始龟裂照射激光。由此，在激光照射部分产生热量应力，龟裂发展而形成刻划槽。

另外，在照射激光而形成刻划槽的方法中，在玻璃基板的周缘部存在刻划槽的龟裂变深的倾向。在这种状态下，如果沿刻划槽分割玻璃基板，则产生分割面的质量下降的问题或不能直接形成刻划槽的问题。

因此，在专利文献3中，示出了在刻划预定线的终端部形成没有形成有刻划槽区域的激光刻划方法。记载了根据该方法无需进行复杂的控制就能够提高玻璃基板的终端部在分割后的剖面质量。

专利文献

【专利文献1】日本特开平3-489号公报

【专利文献2】日本特开平9-1370号公报

【专利文献3】日本再公表特许WO2007/094348号公报

但是，最近的FPD(平板显示器)业界，重视基板端面的强度，因此，作为玻璃基板，主要使用在表面形成有强化层的化学强化玻璃。该化学强化玻璃具有通过离子交换处理而使表面具有压缩应力的层（强化层），并在内部存在拉伸应力。最近，这种化学强化玻璃特别应用在要求端面强度的触摸面板等玻璃罩中。

本申请发明人通过实验发现了如下情况：在这种强化玻璃中，在最近开发的表面尤为高强度的强化玻璃上形成刻划槽的情况下，主要从刻划槽的终端部沿着刻划槽发展较深的龟裂，从而被自然分割。此处，自然分割是指如下现象：在形成了刻划槽后，玻璃基板在不实施分割工序的情况下沿刻划槽分割开。

认为自然分割是由于刻划槽的龟裂在玻璃基板的周缘部变深而引起的，并且认为该较深的龟裂沿着刻划槽发展就会发生自然分割。而且，认为刻划槽的龟裂在玻璃基板的周缘部变深是基于以下理由。

·在玻璃基板的形成有刻划槽的终端部，端面不受限制，因此刻划槽的两侧容易打开。

·在玻璃基板的形成有刻划槽的终端部，不存在热量从此处向末端扩散的场所，从而热量蓄积在终端部。

在由于以上的原因而产生自然分割时，后续工序的处理变得困难。

因此，为了不在玻璃基板的周缘部形成刻划槽，考虑在刻划预定线的终端部贴上铝带来遮蔽激光。但是，在该方法中，从生产率的观点出发不实用。

此外，考虑通过控制激光的照射而不对玻璃基板的周缘部实施加热处理及冷却处理，由此使得刻划槽不到达刻划预定线的终端。但是，该方法中，难以使刻划槽结束在期望的位置，没有稳定性。

发明内容

本发明的课题在于，对表面具有强化层的玻璃容易且稳定地形成期望的刻划槽，防止自然分割。

第1方面的玻璃基板的刻划方法，是对表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃沿预定线进行刻划的方法，具有以下工序。

第1工序：将玻璃载置到具有用于保持基板的多个吸附孔的工作台，并且，利用比玻璃的刻划预定线上的中央部强的吸附压吸附玻璃的位于刻划预定线的终端侧的玻璃端部。

第2工序：在玻璃的表面形成初始龟裂。

第3工序：对玻璃的表面照射激光以进行加热，并且对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。

这里，首先将待加工的玻璃载置到工作台上。在工作台上，设有多个吸附用的孔，通过该吸附用孔抽吸玻璃从而将玻璃保持于工作台的预定位置。这时，刻划预定线的终端侧的玻璃端部被比其他区域强的力抽吸而保持。然后，形成初始龟裂后，对玻璃表面照射激光从而被加热，进一步对被加热的区域进行冷却。通过该加热和冷却处理，初始龟裂沿着刻划预定线发展，从而形成刻划槽。

在该方法中，利用更强的吸附力，将刻划预定线的终端侧的玻璃端部保持在工作台上。因此，在实施加热及冷却处理的情况下，玻璃端部不容易变形。因此，龟裂在玻璃端部处不容易分开，能够抑制形成深的龟裂，从而能够避免自然分割。此外，不需要粘贴铝带等烦杂的作业，而且能够使刻划槽的形成稳定地停止在期望的位置。