[发明专利]一种洁净度监测系统和卡匣

说明书

技术领域

本发明涉及环境监测领域，特别是涉及一种洁净度监测系统和卡匣。

背景技术

在很多领域都需要洁净环境，尤其是液晶面板的制造车间。制作液晶面板的玻璃采用卡匣装载，每个卡匣可装载几十片液晶面板所用的玻璃。卡匣由自动化物料搬送系统（AMHS，Automatic Materiel Handing System）运送到相应制程附近的货栈（Stocker）储存，然后通过分片装置从卡匣中将玻璃依次取出进行相应制程的作业。作业完成后，再将玻璃依次送回卡匣，自动化物料搬送系统再将卡匣运送到下一个制程附近的货栈储存。货栈以及连接货栈之间的卡匣的通道均属于自动化物料搬送系统的一部分。

制造环境的洁净度将直接影响液晶面板的生产良率，并且液晶面板出现不良品带来的损失很高。因此，液晶面板的各个制程对于洁净度有严格要求。在生产过程中，液晶面板停留于自动化物料搬送系统的时间最长，对于自动化物料搬送系统的洁净度的监测尤为重要。

目前，自动化物料搬送系统洁净度的监测主要采用单台仪器由人工进行测量。但是这种测量方式存在以下缺点：1、人也是污染源，人的存在降低了测量可靠性；2、测量仪器在某些位置操作时需要停机作业，造成产能损失；3、制造车间的空间范围通常很大，若全部覆盖需要设置多个仪器和增加人力，效率低、成本高，以货栈为例，货栈的空间尺寸为60m×6m×6m，若要全面覆盖货栈，则需要的仪器数量至少为10个；4、人工测量具有滞后性，增加液晶面板出现不良品的风险。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种洁净度监测系统和卡匣，能够降低成本，提高监测效率。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种洁净度监测系统，用于监测自动化物料搬送系统的洁净度，自动化物料搬送系统包括若干个卡匣，卡匣用于装载物料，自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送卡匣。洁净度监测系统包括：洁净度测量装置，设置于卡匣，用于测量洁净度以得到测量数据；第一信号收发装置，设置于卡匣并与洁净度测量装置连接，用于接收测量数据，并将测量数据转换为无线信号进行发送；第二信号收发装置，设置于卡匣之外的预定位置，用于接收无线信号；测量主机，与第二信号收发装置连接，用于接收无线信号并根据无线信号生成测量数据。

其中，测量主机进一步用于通过第二信号收发装置和第一信号收发装置控制洁净度测量装置测量洁净度。

其中，第二信号收发装置包括：无线分支路由器，与第一信号收发装置建立无线连接，用于通过无线连接接收无线信号；主路由器，与无线分支路由器连接，用于接收无线信号；其中，测量主机与主路由器连接。

其中，无线分支路由器数量为多个，分别与主路由器连接且分别对应预定路径的多个测量点设置，测量主机具体用于通过第二信号收发装置和第一信号收发装置，控制洁净度测量装置在经过每个测量点时测量洁净度，并且获取每个测量点处的位置的位置数据以及获取卡匣经过每个测量点测量洁净度的时间的时间数据。

其中，测量主机获取来自自动化物料搬送系统的卡匣经过每个测量点处的位置的位置数据，获取位置数据后，通过第二信号收发装置和第一信号收发装置，控制洁净度测量装置在经过每个测量点时测量洁净度，并接收在经过每个测量点测量洁净度时的时间的时间数据和无线信号。

其中，洁净度监测系统还包括打印机，打印机与测量主机连接，用于打印测量数据。

其中，卡匣上设置有锂电池，锂电池向洁净度测量装置和第一信号收发装置提供电源。

其中，设置有洁净度测量装置及第一信号收发装置的卡匣数量为多个。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种自动化物料搬送系统的卡匣，卡匣用于装载物料，卡匣设置有：洁净度测量装置，用于测量洁净度以得到测量数据；第一信号收发装置，与洁净度测量装置连接，用于接收测量数据，并将测量数据转换为无线信号进行发送。

其中，洁净度测量装置在接收到来自控制方的测量指令时测量洁净度，以得到测量数据，并向控制方发送测量数据和测量洁净度时的时间的时间数据。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明实施方式的洁净度监测系统和卡匣通过在卡匣中设置洁净度测量装置，循环搬送卡匣时，洁净度测量装置也循环移动，从而循环监测对自动化物料搬送系统范围内的洁净度，由于只采用少量的洁净度测量装置进行循环，能够降低成本，提高监测效率。

附图说明

图1是本发明洁净度监测系统一实施方式的结构示意图；