[发明专利]真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备

权利要求书

1.一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于：工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送。

2.根据权利要求1所述真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于所述转换腔室在大气与真空之间切换以及工件在转换腔室内三个工作位之间切换具体步骤：

（1）、打开转换腔室的阀门，将工件送至转换腔室内的上传送机构，此时上传动机构处于与工作台同一平面的位置，即零位；

（2）、上传送机构与下传送机构同步上升，下传送机构上升至零位，将下传送机构上的已反应完毕的工件送至工作台；

（3）、关闭转换腔室的阀门，将转换腔室内抽真空，其真空度与反应腔室内反应完毕后抽完的真空度相当；

（4）、打开反应腔室的阀门，将反应腔室内的工件送至转换腔室内的下传送机构；

（5）、上传送机构与下传送机构同步下降，当上传送机构下降至零位，将上传送机构的工件送至反应腔室内；

（6）、关闭反应腔室的阀门，使其内的电池片进行反应，反应的同时在转换腔室内一次进行破真空-抽真空-破真空的过程；

（7）、打开转换腔室的阀门，将工作台上已换好的装有下一个太阳能片的工件送至换腔室内的上传送机构，从而开始下一循环。

3. 一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于它包括真空反应腔室和至少设有两个可开闭密封件的转换腔室，其中真空反应腔室与转换腔室之间通过一个可开闭密封件连接，转换腔室内设置有可进行同步位移的A传送机构和B传送机构，以及分别与A传送机构、B传送机构相连的驱动系统。

4.根据权利要求3所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，，其特征在于所述驱动系统具体为升降驱动系统，它包括电机、十字转向器、螺旋升降机，电机通过减速器、联轴器分别与两个十字转向器相连，十字转向器通过联轴器与螺旋升降机相连，螺旋升降机与上传送机构及下传送机构上设置的推杆相连。

5. 根据权利要求3或4所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于所述A传送机构和B传送机构具体为上传送机构和下传送机构结构相同，分别包括电机、伞形齿轮与传动轴，电机通过减速器、联轴器与磁流体相连，伞形齿轮设置在磁流体的转轴上，伞形齿轮通过联轴器与传动轴相连，传动轴由支撑座固定在传动机构的平台上，传动轴上设置有滚轮。

6.根据权利要求5所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于所述传送设备还包括固定在反应腔室外表面上的焊接波纹管，其位于上传送机构和下传送机构的推杆外部。

7. 根据权利要求5所述一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，其特征在于所述上传送机构和下传送机构为一体的。