[发明专利]真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备

说明书

技术领域

本发明涉及真空制程领域，特别是涉及真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备。

 

背景技术

在一些制造行业中，对很多工件的加工都需要在真空环境下进行。不可避免地，需将工件从常温常压环境送入真空以及从真空取出至常温常压下，其整个反应过程需要多次抽真空、破真空，不仅流程繁琐而且消耗能源、磨耗设备。

如太阳能电池片制造行业，干法制绒设备是用于太阳能电池片刻蚀工艺的一种专用设备，其原理是在真空状态下，通过射频电源辉光放电，使反应气体电离成等离子体，气体离子通过电势的作用，轰击硅片，对硅片进行腐蚀，与硅片发生化学反应和物理反应，达到刻蚀效果。

整个过程是在真空腔室进行的，在进行反应前，需要将电池片通过传动机构将电池片放置到腔室内。通常的传送方法有两种，第一种如图1所示。料盘2放置在工作台A1上，首先进行装片，即将电池片4放置在料盘2上；再进行送片，即将料盘2送至反应腔室3内进行反应；待反应完毕后，再从原来的入口处进行出片，即料盘2由反应腔室3内出来；最后回到工作台A1进行取片，由此完成一个太阳能片进出作业的整个流程。整个工作过程占用时间较长。

另外一种传动方式如图2示。其反应腔室3两侧分别设置工作台A1和工作台B5，与第一种方式区别在于，送片口与出片口不同，其采用流水作业方式，在反应的同时，可以进行装片及取片，从一定程度上节约了时间。但是在反应过程需抽真空，然后通入气体进行辉光放电，反应结束后，为保证人身安全需将腔室内具有腐蚀性的工艺气体排除掉，重新抽真空，为保证腔室内外压力相同，还需重新对腔室内使用惰性气体破真空。以上整个反应过程需要多次抽真空、破真空，不仅流程繁琐而且消耗能源、磨耗设备；同时太阳能电池片一直在反应腔室3内，浪费了时间，降低了工作效率。

此外，以上两种传动方式所需人力较多，设备占用空间大。

 

发明内容

为了解决以上技术问题，本发明提供了一种节省人力物力、减少耗能、提高工作效率的真空反应腔室进出料的传送方法。

本发明所述真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于：工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送。

为达到更好的效果，所述转换 腔室在大气与真空之间切换以及工件在转换腔室内三个工作位之间切换具体包括以下步骤：

（1）、打开转换腔室的阀门，将工件送至转换腔室内的上传送机构，此时上传动机构处于与外界及真空反应腔室内放置工件的工作台同一平面的位置，即零位；

（2）、上传送机构与下传送机构同步上升，当下传送机构上升至零位，将下传送机构上的已反应完毕的工件送至工作台；

（3）、关闭转换腔室的阀门，将转换腔室内抽真空，其真空度与反应腔室内反应完毕后抽完的真空度相当；

（4）、打开反应腔室的阀门，将反应腔室内的工件送至转换腔室内的下传送机构；

（5）、上传送机构与下传送机构同步下降，当上传送机构下降至零位，将上传送机构的工件送至反应腔室内；

（6）、关闭反应腔室的阀门，使其内的工件进行反应，反应的同时在转换腔室内进行大气与真空状态的切换；

（7）、打开转换腔室的阀门，将工作台上已换好的装有下一个工件的工件送至换腔室内的上传送机构，从而开始下一循环。

本发明所述真空反应腔室进出料的传送方法，不但解决了反应时不能进行装片取片的问题，而且可以解决反应腔室进行反复多次抽真空占用时间的问题；通过此进出片传送方法，可以大大提高生产效率，节省人力。

本发明还提供了一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备，包括真空反应腔室和至少设有两个可开闭密封件的转换腔室，其中真空反应腔室与转换腔室之间通过一个可开闭密封件连接，转换腔室内设置有可进行同步位移的A传送机构和B传送机构，以及分别与A传送机构、B传送机构相连的驱动系统。

为达到更好的效果，本发明所述传送设备还可以采用以下措施：

1、所述驱动系统具体为升降驱动系统，包括电机、十字转向器、螺旋升降机，电机通过减速器、联轴器分别与两个十字转向器相连，十字转向器通过联轴器与螺旋升降机相连，螺旋升降机与上传送机构及下传送机构上设置的推杆相连。