[发明专利]提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法有效
| 申请号： | 201210323737.8 | 申请日： | 2012-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN102797041A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 范志东;赵学玲;郭延岭 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;余刚 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 湿法 刻蚀 设备 轨道 腐蚀 均匀 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1）检测各轨道内硅片的腐蚀量；
2）调整腐蚀量偏大或偏小的轨道上的导轮直径，通过控制所述导轮上的硅片进入所述设备中各轨道的药液深度从而增加或者减小所述硅片的腐蚀量，最终使各道内所述硅片的腐蚀量相一致。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述步骤2）中硅片的腐蚀量较其它各轨道腐蚀量高的轨道中的所述导轮的直径调大。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述步骤2）中硅片的腐蚀量较其它各轨道腐蚀量低的轨道中的所述导轮的直径调小。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤1）之前进一步包括：
对各所述轨道的排风量、药液配比浓度，温度、传输速度进行调整。
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