[发明专利]提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅电池制备领域，具体而言，涉及一种提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法。

背景技术

多晶硅电池的生产主要流程通常为：制绒、扩散、湿法刻蚀、PECVD沉积SiN_x、丝网印刷和烧结。制绒是太阳能电池生产首个工序，其目的主要是：1、去除硅片表面的机械损伤层；2、清除表面油污和金属杂质；3、形成起伏不平的绒面，增加吸光面积，减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。制绒其主要是通过HNO₃、HF制绒、冲洗、KOH腐蚀、冲洗、HF、HCl清洗等处理。该工序通过对腐蚀前后的硅片进行称重以计算出硅片被腐蚀掉的深度，以此来控制和监视该工序的稳定性。制绒后是扩散，然后就是湿法刻蚀，湿法刻蚀主要是通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的PN结以达到正面与背面绝缘的目的，同时去除正面的磷硅玻璃层，便于后续工艺的进行。湿法刻蚀工艺和制绒设备以及工艺原理相似。（与前面几句话重复）

制绒和湿法刻蚀设备为链式循环系统，多为四轨道到八轨道不等，硅片通过上下滚轮的传动分别经过各腐蚀液和清洗槽，硅片从一端进入，另一端卸下完成整个流程。各轨道的腐蚀量的均匀性成了生产线上一个不可忽视的监控点。各轨道腐蚀的均匀性受设备排风、导轮的水平性以及液体溶度均匀性等众多因素的影响，但主要是受硅片进入药液的深度不同的影响。

目前因为排风、药液更换等原因导致的各轨道腐蚀量不一致，主要通过调整排风量的大小、药液流量以及更换时间尽量使各轨道腐蚀量保持一致。另外，因设备之间的磨合经常导致导轮两端水平性变差影响硅片进入药液的深度不同导致腐蚀量不同，因此需要经常更换导轮保持其水平性。

然而，通过排风和药液流量大小的调整很难保证各轨道所处的环境完全一样所以很难控制各轨道硅片进入药液的深度也完全一样，所以腐蚀均匀性差。而因设备的磨损导致的导轮不在同一水平线上需要更换设备增加了设备成本，相对提高了太阳能电池的制造成本。

发明内容

本发明旨在提供一种提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法，以解决现有技术中制绒和湿法刻蚀各轨道腐蚀量不均匀的技术问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法。该方法包括以下步骤：1）检测各轨道内硅片的腐蚀量；2）调整腐蚀量偏大或偏小的轨道上的导轮直径，通过控制导轮上的硅片进入设备中各轨道的药液深度从而增加或者减小硅片的腐蚀量，最终使各道内硅片的腐蚀量相一致。

进一步地，将步骤2）中硅片的腐蚀量较其它各轨道腐蚀量高的轨道中的导轮的直径调大。进一步地，将步骤2）中硅片的腐蚀量较其它各轨道腐蚀量低的轨道中的导轮的直径调小。

进一步地，在步骤1）之前进一步包括：对各轨道的排风量、药液配比浓度，温度、传输速度进行调整。

本发明的技术方案，通过个别导轮直径的调整，很方便地解决了现有技术中仅通过排风量和药液流量大小的调整很难保证各轨道所处的环境完全一样，所以很难控制各轨道硅片进入药液的深度也完全一样的弊端，同时，也可避免更换设备部件造成的额外成本，达到节约的目的。

附图说明

说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了制绒或湿法蚀刻设备各轨道导轮结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

根据本发明一典型的实施方式，提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法包括以下步骤：1）检测各轨道内硅片的腐蚀量；2）调整腐蚀量偏大或偏小的轨道上的导轮直径，通过控制导轮上的硅片进入设备中各轨道的药液深度从而增加或者减小硅片的腐蚀量，最终使各道内硅片的腐蚀量相一致。如图1所示，轨道10、轨道20和轨道30是制绒或湿法刻蚀设备的部分轨道，例如，导轮21的直径d2可以根据实际需要进行调整，从而达到调节腐蚀量偏大或偏小的问题，使设备各轨道腐蚀量保持一致。本发明的技术方案，通过个别导轮直径的调整，很方便地解决了现有技术中仅通过排风量和药液流量大小的调整很难保证各轨道所处的环境完全一样，所以很难控制各轨道硅片腐蚀量也完全一样的弊端，同时，也可避免更换设备部件造成的额外成本，达到节约的目的。