[发明专利]有机EL设备制造装置

权利要求书

1.一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩，其特征在于，

具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；

具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，

并且，具有将在所述定位部的一个中进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。

2.根据权利要求1所述的有机EL设备制造装置，其特征在于，

所述2个定位部通过定位基座而成为一体，移动至所述蒸镀位置。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL设备制造装置，其特征在于，具有2个基板交接部，所述定位部到达该基板交接部的前面来接受基板。