[发明专利]闸流管充气系统有效

专利信息
申请号: 201210332971.7 申请日: 2012-09-11
公开(公告)号: CN103681167A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 黄俊杰 申请(专利权)人: 昆山国力真空电器有限公司
主分类号: H01J9/395 分类号: H01J9/395
代理公司: 昆山四方专利事务所 32212 代理人: 盛建德
地址: 215301 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 流管 充气 系统
【权利要求书】:

1.一种闸流管充气系统,包括置于密封腔(1)内的闸流管(2),其特征在于:所述闸流管通过管道连通一储氢罐(5),且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀(3)和充氢微调阀(4);所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器(9),在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀(6)、第一隔离阀(7)和第一储氢阀(8);在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路,该两管道支路上分别设有连接阀(10)和清空阀(11);所述储氢罐上设有第一薄膜真空计(12);所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计(13)。

2.根据权利要求1所述的闸流管充气系统,其特征在于: 所述储氢罐还通过管道连通到第二金属氢化物储氢器(16)。

3.根据权利要求2所述的闸流管充气系统,其特征在于: 在所述进氢阀和第一隔离阀之间设一管道支路连通到所述第二金属氢化物储氢器,且在该进氢阀到第二金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有第二隔离阀(14)和第二储氢阀(15)。

4.根据权利要求3所述的闸流管充气系统,其特征在于:在所述第二隔离阀和第二储氢阀之间的管道上设有第二微调阀(17)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统,其特征在于:在所述第一隔离阀和第一储氢阀之间的管道上设有第一微调阀(18)。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统,其特征在于:在工位阀和储氢罐之间的管道上还设有一充氢阀(19);在所述工位阀和充氢阀之间的管道上设一管道支路连通到所述密封腔内,且该管道支路上依次设有抽氢阀(20)和钟罩电磁阀(21),另在该抽氢阀和钟罩电磁阀之间的管道上设有第一机械泵(22)。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统,其特征在于:在所述工位阀和充氢微调阀之间的管道上还设有一管道支路,该管道支路上依次设有总阀(23)、分子泵(24)和第二机械泵(25)。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统,其特征在于:在所述密封腔内还设有两支路管道,该两支路管道上分别设有充气电磁阀(26)和放气电磁阀(27)。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统,其特征在于:所述密封腔为金属烘箱形成。

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