[发明专利]闸流管充气系统有效
申请号: | 201210332971.7 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN103681167A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 黄俊杰 | 申请(专利权)人: | 昆山国力真空电器有限公司 |
主分类号: | H01J9/395 | 分类号: | H01J9/395 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215301 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流管 充气 系统 | ||
技术领域
本发明涉及一种闸流管充气系统。
背景技术
随着闸流管生产量的增长及闸流管生产效率的提高,传统的钯合金膜扩散法纯化氢气的方法越来越具有一定的局限性,特别是在工艺需求大量氢气时,目前钯合金膜扩散法的纯化速度无法满足。为了提高钯合金膜扩散法纯化氢气的速度和效率,可以减小钯合金管的厚度、提高钯合管的工作温度、升高钯合金管两端的压差,但是这样就容易造成钯合金管漏气寿命严重缩短。同时钯是一种贵金属,价格昂贵,造成成本较高。
发明内容
为了克服上述缺陷,本发明提供了一种闸流管充气系统,可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种闸流管充气系统,包括置于密封腔内的闸流管,所述闸流管通过管道连通一储氢罐,且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀;所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器,在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀;在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路,该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀;所述储氢罐上设有第一薄膜真空计;所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计。
作为本发明的进一步改进,所述储氢罐还通过管道连通到第二金属氢化物储氢器。
作为本发明的进一步改进,在所述进氢阀和第一隔离阀之间设一管道支路连通到所述第二金属氢化物储氢器,且在该进氢阀到第二金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有第二隔离阀和第二储氢阀。
作为本发明的进一步改进,在所述第二隔离阀和第二储氢阀之间的管道上设有第二微调阀。
作为本发明的进一步改进,在所述第一隔离阀和第一储氢阀之间的管道上设有第一微调阀。
作为本发明的进一步改进,在工位阀和储氢罐之间的管道上还设有一充氢阀;在所述工位阀和充氢阀之间的管道上设一管道支路连通到所述密封腔内,且该管道支路上依次设有抽氢阀和钟罩电磁阀,另在该抽氢阀和钟罩电磁阀之间的管道上设有第一机械泵。
作为本发明的进一步改进,在所述工位阀和充氢微调阀之间的管道上还设有一管道支路,该管道支路上依次设有总阀、分子泵和第二机械泵。
作为本发明的进一步改进,在所述密封腔内还设有两支路管道,该两支路管道上分别设有充气电磁阀和放气电磁阀。
作为本发明的进一步改进,所述密封腔为金属烘箱形成。
本发明的有益效果是:闸流管加灯丝电压后气体压力能够得到监控,可实现对闸流管进行氢气和氘气等气体的转换充气,而且气体纯度高,储气量大,使用寿命长,经济实惠。同时,对闸流管的性能起到了重要作用。
附图说明
图1为本发明实施例所述闸流管充气系统结构示意图。
结合附图,作以下说明:
1——密封腔 2——闸流管
3——工位阀 4——充氢微调阀
5——储氢罐 6——进氢阀
7——第一隔离阀 8——第一储氢阀
9——第一金属氢化物储氢器 10——连接阀
11——清空阀 12——第一薄膜真空计
13——第二薄膜真空计 14——第二隔离阀
15——第二储氢阀 17——第二微调阀
16——第二金属氢化物储氢器 18——第一微调阀
19——充氢阀 20——抽氢阀
21——钟罩电磁阀 22——第一机械泵
23——总阀 24——分子泵
25——第二机械泵 26——充气电磁阀
27——放气电磁阀
具体实施方式
结合附图,对本发明作详细说明,但本发明的保护范围不限于下述实施例,即但凡以本发明申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰,皆仍属本发明专利涵盖范围之内。
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