[发明专利]排气捕集器有效
| 申请号： | 201210335345.3 | 申请日： | 2012-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN102989238A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 小池悟 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D45/04 | 分类号： | B01D45/04;B01D50/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;王轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 捕集器 | ||
【权利要求书】：
1.一种排气捕集器，其特征在于，具备：
流入口，该流入口使来自处理装置的废气流入，该处理装置是使用处理气体对基板实施规定处理的装置；
流出口，该流出口使从上述流入口流入的上述废气流出；
以及多块挡板，该多块挡板具有：一个或多个具有第一开口尺寸的第一开口部、以及多个具有比上述第一开口尺寸小的第二开口尺寸的第二开口部，在上述流入口与上述流出口之间，该多块挡板被配置为与从上述流入口流向上述流出口的上述废气的流动方向相交叉，
上述多块挡板中的一块挡板的上述第一开口部与相邻挡板的上述第一开口部相对于上述流动方向相互错位，
上述多块挡板中相邻的两块挡板的间隔在上述第二开口尺寸的0.5倍至2倍的范围内。
2.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，
上述多块挡板的上述多个第二开口部以小于等于上述第二开口尺寸的间隔配置。
3.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，
还具有调节上述多块挡板间隔的调节部件。
4.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，
还具备过滤器单元，该过滤器单元与上述流出口连通，且该过滤器单元包含有网板，该网板具有拥有规定网眼的网眼部件，且该网板相互留有间隔地配置。
5.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，
上述多块挡板中的相邻两块挡板的间隔在上述第二开口尺寸的0.5至1倍的范围内。
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